非接触式薄膜涂层测厚仪

非接触式 薄膜（涂层）测厚仪

非接触式薄膜（涂层）测厚仪，适用于介质，半导体，薄膜滤波器和液晶等薄膜和涂层的厚度测量。该薄膜测厚仪，是我公司与美国PSC公司合作研制的，采用PSC公司先进的薄膜测厚技术，基于白光干涉的原理来测定薄膜的厚度和光学常数（折射率n，消光系数k）。它通过分析薄膜表面的反射光和薄膜与基底界面的反射光相干形成的反射谱，用相应的软件来拟合运算，得到单层或多层膜系各层的厚度d，折射率n，消光系数k。该设备关键部件均为国外进口，也可根据客户需要整机进口。

参数和性能指标
厚度范围： 20nm-50um（只测膜厚），100nm-10um（同时测量膜厚和光学常数n，k）根据薄膜材料的种类，其范围有所不同。
准确度：     <1nm或<0.5%
重复性：     0.1nm
波长范围： 380nm-1000nm
可测层数： 1-4层
样品尺寸： 样品镀膜区直径>1.2mm
测量速度： 5s-60s
光斑直径：1.2mm-10mm可调
样品台：290mm*160mm
光源：长寿命溴钨灯（2000h）
光纤：纯石英宽谱光纤
探测器：进口光纤光谱仪
电源：AC100V-240V，50HZ-60HZ
重量：18kg
尺寸：300mm*300mm*350mm
产品功能适用性
该仪器适用于多种介质，半导体，薄膜滤波器和液晶等薄膜和涂层的厚度测量。
强大的软件功能
界面友好，操作简便，用户点击几次鼠标就可以完成测量
可方便的保存、读取测量得到的反射谱数据
数据处理功能强大。可同时测量多达四层的薄膜的反射率数据。一次测量即可得到四层薄膜分别的厚度和光学常数等数据。
材料库中包含了大量常见的材料的光学常数的数据。用户可以很方便地自己扩充材料的数据库。