电浆清洗设备

公司简介：

 

东莞市启天自动化设备有限公司是一家专业从事机械设备、研发制造的知名企业，位于东莞市樟木头，自公司成立以来，我们始终以高技术，高品质，以及完善的售后服务得到广大客户的一致好评和认可，目前已成为国内同行业知名的设备供应商之一。

 

公司主要从事等离子体清洗刻蚀处理设备的研发和生产，生产的设备广泛用于LCD，PCB，微电子，连接器等行业。公司目前已聚集了一批国内最早从事等离子体处理设备生产研发的专业技术人才，他们在这个领域里有着丰富的理论知识以及实践经验，正因为有了这支技术力量雄厚的队伍，所以我公司可根据客户的实际要求量身定制各种非标设备和现有的设备改良，以满足客户的需求。确保产品结构和制程的合理性。

 

我们将以客户的需求为准则，用高效完善的运作体系来持续满足客户需要，力求一次把事情做好，坚信最少的故障就是最低的成本，最少的维修就是最好的售后。长期以来在为客户提供高附加值产品的同时，追求与客户的生产工艺技术共同进步，彼此促长。并真诚、认真对待每一次合作的机会，以达到提高自身能力的目的.我们将与各界新老朋友携手共进、共创双赢！

 

中型等离子清洗机

    主要应用于LCD、连接器、键合前等大规模生产领域。

      特点：所有及核心部件采用进口，保证了整机的稳定性和使用寿命。

      真空泵采用进口旋片泵，是适用于等离子工艺环境使用的可长时间工作的体系，在抗氧化、耐腐蚀等诸多方面积累了丰富的经验，使泵的寿命大大提高，并有效降低了泵的维护成本，泵的各项保护措施完善，提高了长时间工作极限，泵油为耐高温、抗氧化油，泵具有可自行缓解温度过高的散热体系，无需水冷。泵体内置于机柜内部，使机器紧凑，占地面积小。

      控制方式：自动控制系统采用PLC加触摸屏控制，所有工艺参数、工艺过程实时监控，并显示运行状态、报警记录和工艺曲线记录、工作时间记录，适合维护，可以提供工艺参考。

       ◎可存储50组工艺配方，随意调用。

      ◎清洗时间、洁净压力、射频功率、工艺气体流量、设定可调。

      ◎工艺参数受密码保护，分级密码管理查询。

      ◎一键完成全自动工艺，实时故障报警、非法操作提示、清洁结束提示等。

      ◎自动提醒系统维护、更换真空泵油等，避免机器过载、过老化情形下工作，延长使用寿命。

      ◎气体质量流量计采用美国进口，由模拟输入输出，量程为0～200sccm可在量程范围内无级调节，根据特殊的工艺要求可用PLC可对质量流量计进行PID调节而实现真空度的控制。

      ◎根据特殊的工艺要求可使用干泵，尾气处理设备，油过滤器，过滤返油装置等。电极结构（专利）的高等离子通量设计能很好地提高等离子体地均匀性及稳定性。

 标准型号：QT-60-PSP、QT-80-PSP、QT-100-PSP、QT-120-PSP、QT-150-PSP。