厂商 ：深圳市中正冶金科技有限公司
广东 深圳- 主营产品：
- 高纯铬靶 Cr
- 高纯度铜靶 Cu
- 镁靶 Mg
联系电话 ：13534136308
商品详细描述
主要技术指标：
*化学成分：98wt.% ZnO, 2wt.%Al2O3或按用户需要提供；
*纯度：99.9%或99.99%；
*相对密度：≥99.5%；
实测密度≥5.60g/cm3
*靶材电阻率：5×10—4Ω?cm (表面电阻由于机加工等原因会明显高于此值)；
*膜电阻率：采用射频磁控溅射，基片加热温度220℃，在最佳工艺条件下：2.17×10—4Ω?cm；基片加热温度450℃，在最佳工艺条件下：9.06×10—5Ω?cm
*目前能提供的最大尺寸：400mm×200mm×9mm。
相关产品推荐
