厂商 ：东西仪（北京）科技有限公司甘肃办事处
甘肃 兰州
- 主营产品：
- 节能环保仪器
- 石油石化仪器
- 电子电力仪器仪表
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商品详细描述
产品名称： 质量流量控制器
产品货号： wi101160
产 地： 国产
发布时间： 2014-12-17 11:20:20
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详 细 说 明
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用 途:
质量流量控制器（MFC）用于对气体的质量流量进行精密地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。
标 准:
气体质量流量用氮气(N2)标定。标准状态规定为：
标准温度………………0℃（273.15K）
标准压强………………101325Pa
输入和输出:
输入电源………………+15V,50mA;-15V,200mA
输入设定电压…………0～+5.00V
输出电压检测…………0～+5.00V
技术参数：
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满量程流量范围（N2）
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5SCCM～30SLM
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控制范围
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2～100％F.S.
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阀类型（及阀初始状态）
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电磁调节阀（常闭）
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准确度
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≤10SLM
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±1％F.S.
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＞10SLM
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±2％F.S.
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线性
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≤10SLM
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±0.5～1％F.S.
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＞10SLM
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±2％F.S.
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重复精度
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±0.2％F.S.
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响应时间
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≤4sec
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工作温度范围
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5～45℃
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工作压差
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≤10SLM
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0.1～0.5MPa
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＞10SLM
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0.1～0.3MPa
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耐压
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3MPa
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漏气率
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1×10-9SCCSHe
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密封材料
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氟橡胶、聚四氟乙烯、氯丁橡胶
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接头选择
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VCR
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1/4”或φ4hose、φ6hose
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Swagelok
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1/8”、1/4”或φ3、φ6mm
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电插头形式
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DB15 pin(Male)
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抗电磁干扰
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CE
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重量
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0.95Kg
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主要特点：
★高精度，快响应型
★橡胶密封、模拟电路的MFC
★采用DB15型电插头，国际标准机械接头
★国际兼容
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