电子洁净室

过滤器DOP（PAO）检漏法在洁净室中的应用

过滤器（HEPA）一般是指对粒径≥0.3μm粒子的捕集效率在99.97%以上的过滤器，通常作为企业洁净室的末端过滤装置，无尘洁净室，用以提供洁净的空气。洁净室是否能达到和保持设计的洁净级别在一定程度上与过滤器的性能及其安装有关。因此对洁净车间 的过滤 器进行检漏测试，确保其符合要求，是保证车间洁净环境的重要手段之一。

 另外在人的发尘量上，由于服装材料和样式的改进，发尘量也不断减少。室内维护结构表面 发尘量，以地面为准，合肥洁净室，大约相应 8 平方米地面时的表面发尘量与一个静止的人的发尘量相当。无尘净化车间进风系统要安装，新风过滤箱，中央净化空调(中央净化空调要分 为初效/中效/三个过滤段)末端有送风口。有必要时还装有净化增压箱。进入无尘净化车间之前先进入缓冲区，缓冲区门安装电子互锁，更衣处放置洁净 储衣柜，空气 清新机。装饰工程洁净室施工要点材料选择尘车间使用的木材的含水率不应大于16%，并且不得外露使用。由于无尘车间换气次数大，相对湿度低，如大量使用木材，洁净室公司，易干裂、变形、松动、产生灰尘等，即使用也要局部使用，并且一定要做好防腐防潮处理。

过滤器DOP（PAO）检漏法在洁净室中的应用

可将气溶胶直接从系统风机的负压一侧引入，如要从风管中引入，电子洁净室，则应在距HEPA至少10倍风管直径处引入，并尽量减少拐弯（美国环境科学和技术学会）。一般情况下，保持上游气溶胶达到要求浓度，且浓度波动在一定范围即可。对于层流罩、超净台上的HEPA，气溶胶直接从系统风机的负压一侧引入。

气溶胶光度计初始化、设定 100%、0%参比标准值。

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