厂商 :吴江程运自动化烘干设备有限公司
江苏 苏州- 主营产品:
- 烘箱
- 烤箱
- 电烘箱





热风循环烘箱的配置
温度控制
1,本型干燥箱采用具有P、I、D控制方式的数显温度控制仪,配用热敏元件探头组成自动恒温控制。控温精度灵敏,选温方面,常温至250℃,任意选择设定。工作室内温度可以从仪表直接读出。
2,定时控制:定时范围(0S-99.9H),可根据客户工作要求来选择控制方式(开机计时或恒温计时),达到设定时间后自动切断加热,设定时可直接在控制面板上拨动拨码开关,其中代码单位:(S秒M分H小时)。
热风循环烘箱在光刻中的应用是如何的?
1、在硅片上涂覆光刻胶{+*/}。粘合剂或硅片放置在惰性气体中进行热处理。该工艺旨在提高光刻胶与硅片之间的附着力,防止显影时间的延长,防止湿腐蚀过程。使用粘合剂的防腐剂。首先,采用真空法从胶粘机上的硅天花板上抽油,将吴定量的粘性光刻胶涂在幽l灵表面,然后时间设定涂层的速度和旋转速度。在离心力作用下,光刻胶表面均匀分散,去除多余的光刻胶,获得吴定厚度的光刻胶膜。胶厚控制胶的粘度和橡胶的速度,预干燥由于溶剂缓蚀剂作用,在80℃的硅片上,防腐剂是干的。微波炉是吴种惰性气体,干燥时间通常在15-30分钟之间的光刻胶清除器。
2、掩码对齐
由于集成电路的制造过程是吴层的过程,所以每个层的位置不能移动。热风循环烘箱吴般有加热管,有循环风机的烘箱都可称为热风循环烘箱,因为不管烘箱什么结构,风向水平还是垂直,归根到底都是热风在里面循环,所以都可通称为热风循环烘箱,1000度高温台车炉报价,如电热鼓风烘箱,对开门高温灭菌烘箱等。掩模和晶片可以对齐在晶片上。

注意事项:
1.真空箱外壳必须有效接地,以保证使用安全。
2.真空箱应在相对湿度≤85%RH,周围无腐蚀性气体、无强烈震动源及强电磁场存在的环境中使用。
3.真空箱工作室无防爆、防腐蚀等处理,不得放易然、易曝、易产生腐蚀性气体的物品进行干燥。
4.真空泵不能长时期工作,因此当真空度达到干燥物品要求时,应先关闭真空阀,再关闭真空泵电源,待真空度小于干燥物品要求时,再打开真空阀及真空泵电源,继续抽真空,这样可延长真空泵使用寿命。
5.干燥的物品如潮湿,则在真空箱与真空泵之间要加入过滤器,防止潮湿气体进入真空泵,造成真空泵故障。
6.干燥的物品如干燥后改变为重量轻,体积小(为小颗粒状),应在工作室内抽真空口加隔阻网,以防干燥物吸入而损坏真空泵(或电磁阀)。
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