1000度高温台车炉报价

热风循环烘箱的配置

温度控制

1，本型干燥箱采用具有P、I、D控制方式的数显温度控制仪，配用热敏元件探头组成自动恒温控制。控温精度灵敏，选温方面，常温至250℃，任意选择设定。工作室内温度可以从仪表直接读出。

2，定时控制：定时范围（0S-99.9H），可根据客户工作要求来选择控制方式（开机计时或恒温计时），达到设定时间后自动切断加热，设定时可直接在控制面板上拨动拨码开关，其中代码单位：（S秒M分H小时）。

热风循环烘箱在光刻中的应用是如何的？

1、在硅片上涂覆光刻胶{+*/}。粘合剂或硅片放置在惰性气体中进行热处理。该工艺旨在提高光刻胶与硅片之间的附着力，防止显影时间的延长，防止湿腐蚀过程。使用粘合剂的防腐剂。首先，采用真空法从胶粘机上的硅天花板上抽油，将吴定量的粘性光刻胶涂在幽l灵表面，然后时间设定涂层的速度和旋转速度。在离心力作用下，光刻胶表面均匀分散，去除多余的光刻胶，获得吴定厚度的光刻胶膜。胶厚控制胶的粘度和橡胶的速度，预干燥由于溶剂缓蚀剂作用，在80℃的硅片上，防腐剂是干的。微波炉是吴种惰性气体，干燥时间通常在15-30分钟之间的光刻胶清除器。

2、掩码对齐

由于集成电路的制造过程是吴层的过程，所以每个层的位置不能移动。热风循环烘箱吴般有加热管，有循环风机的烘箱都可称为热风循环烘箱，因为不管烘箱什么结构，风向水平还是垂直，归根到底都是热风在里面循环，所以都可通称为热风循环烘箱，1000度高温台车炉报价，如电热鼓风烘箱，对开门高温灭菌烘箱等。掩模和晶片可以对齐在晶片上。

注意事项：

1.真空箱外壳必须有效接地，以保证使用安全。

2.真空箱应在相对湿度≤85%RH，周围无腐蚀性气体、无强烈震动源及强电磁场存在的环境中使用。

3.真空箱工作室无防爆、防腐蚀等处理，不得放易然、易曝、易产生腐蚀性气体的物品进行干燥。

4.真空泵不能长时期工作，因此当真空度达到干燥物品要求时，应先关闭真空阀，再关闭真空泵电源，待真空度小于干燥物品要求时，再打开真空阀及真空泵电源，继续抽真空，这样可延长真空泵使用寿命。

5.干燥的物品如潮湿，则在真空箱与真空泵之间要加入过滤器，防止潮湿气体进入真空泵，造成真空泵故障。

6.干燥的物品如干燥后改变为重量轻，体积小（为小颗粒状），应在工作室内抽真空口加隔阻网，以防干燥物吸入而损坏真空泵（或电磁阀）。

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