爱发科VSN1501油旋片真空泵维修

日本爱发科干泵PDR-090CLN真空泵维修：爱发科PDR-090CLN干式多段式罗茨真空泵，用于分析仪器以及半导体生产和等离子清洗等洁净制程。此泵具有较高的耐腐蚀性能，高真度运行，爱发科VSN1501油旋片真空泵维修，由于具有优异的抗静态和动态内应力能力，所以泵能提供更强的安全性。

泵不良现象及原因分析

1、不良现象：真空泵运行过载报警。

2、原因分析：

经对真空泵进行拆解， 发现以下几个问题点：

不良现象 原因分析

（1）转子轴套部磨损：

因轴承磨损导致转子下限，轴套部位与端盖中间孔接触磨擦所致。

（2）泵内齿轮箱内积碳：

因泵轴承损坏，转子轴套与端盖中间磨擦导致高温，齿轮润滑油因高温氧化积碳。

（3）轴承磨损：

因轴承润滑脂失效，轴承干性旋转导致轴承滚珠在轴承内干磨。

(1)真空室内排气流量的计算。在正常的工艺过程中，真空室内所产生的气流量应当由主泵及时抽走，以保证真空室内的压强符合工作真空度的要求。 工艺过程中的气流量可用下式计算 Q=Qg+Qn+Qf+Ql (Pa .m3 /S) 式中 Q---真空室中产生的总的气流量， Qg--工艺过程中被熔炼或被处理的材料放出的气流量，Pa.m3/s; Qn--真空室内所用耐火保温材料的出气流量，Pa.m3/s; Qf--暴露于真空条件下的真空室内壁和所有构件表面解析出来的气流量，Pa.m3/s; Ql--真空室外大气通过各密封连接处泄漏到真空室内的气流量，Pa.m3/s， 以上各量在不同的真空应用设备中不一定都存在，这要根据实际情况具体考虑。

 (2)被抽容器所要求的有效抽速的计算。设被抽容器内的排气流量为Q(单位为Pa.m3/s)，所要求的工作压力为Pg(单位为Pa)，则根据真空容器所要求的工作压力Pg和排气流量Q，可得被抽容器出口处主泵的有效抽速Sez

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因在实际生产应用中工作条件的不同，吸入气体及压力会发生很多变化，所以烟台沃尔姆建议在选型时应根据实际抽气过程、气体释放过程、可凝性气体冷凝情况、吸入压力的时间变化等等进行校核计算或参照现有设备使用情况选型。

选择主泵的类型及抽速很重要 主泵抽速的计算 主泵的类型选定之后，接下来就是要具体地确定主泵抽速的大小规格。主泵抽速大小确定的主要依据是被抽容器的工作真空度和其排气流量，以及被抽容器的容积和所要求的抽气时间。

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