河北气体质量流量计控制单元

你对气体流量控制器了解多少？

注：单位SCCM和“ml/min，0℃，1atm”等同；单位SLM和“L/min，0℃，1atm”等同。通入不同的工艺气体，建议选择对应气体的专用质量流量控制器，以保证输入气体的稳定和计量；不同的工艺气体，分子大小不同、化学特性不同，山西气体质量流量计控制单元，使用同规格的质量流量控制器会存在流量误差和安全隐患。

如使用的是常规工艺气体，也可选择一种气体作为标准，只需保证流量稳定即可；但是对于H2、CF4等特殊气体，可燃具有腐蚀性的气体，北京气体质量流量计控制单元，必须使用专用的质量流量控制器。

实验型真空等离子清洗机机，河北气体质量流量计控制单元，通常对流量控制要求不是非常严格，纯手动操作的设备，也会选用手动浮子流量计。

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常见类型

1. 容积式流量计，又称定排量流量计。它利用机械测量元件把流体连续不断的分割成单个已知的体积部分，根据测量室逐次重复的充满和排放该体积部分流体的次数来测量流体体积流量。

2.浮子式流量计，又称转子流量计，是变面积式流量计的一种，在一根由下向上扩大的垂直锥管中，圆形横截面的浮子的重力是由液体动力承受的，从而使浮子可以在锥管中自由的上升和下降。

3. 差圧式流量计 ，是根据安装于管道中流量检测件产生的差压，已知的流体的条件和检测间与管道的尺寸来计算流量的仪表。

4. 涡街流量计，在流体中安放一根非流线型游涡发生体，流体在发生体两侧交替的分离释放出两串规则地交错排列的游涡的仪表。

5. 涡轮流量计，是速度式流量计中的主要种类，它采用多叶片的转子（涡轮）感受流体平均流速，从而推导出流量或总量的仪表。

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气体流量计原理

热式气体质量流量计采用热扩散原理，热扩散技术是一种在苛刻条件下性能优良、可靠性高的技术。其典型传感元件包括两个热电阻（铂RTD），一个是速度传感器，一个是自动补偿气体温度变化的温度传感器。当两个RTD被置于介质中时，其中速度传感器被加热到环境温度以上的一个恒定的温度，另一个温度传感器用于感应介质温度。流经速度传感器的气体质量流量是通过传感元件的热传递量来计算的。气体流速增加，介质带走的热量增多。使传感器温度随之降低。为了保持温度的恒定，则必须增加通过传感器的工作电流，气体质量流量计控制单元，此增加的部分电流大小与介质的流速成正比。

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