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试剂必须要通过 芯片上的小孔才能进入通道网络,所以通过微加工技术所制得的具有不同结构和功 能单元的微流控芯片基片,在与盖板封接之前必须在微通道末端打一小孔,组装成 微流控成品才能使用。小孔可钻在基片上,也可钻在盖板上。 ? 玻璃芯片的打孔方法包括金刚石打孔法,超声波打孔法,和激光打孔法。打孔后一 定要将芯片制作和打孔过程中所残留的小颗粒、有机物和金属物等清除干净,包括 化学清洗,提高芯片表面平整度,以保证封接过程顺利进行 对玻璃和石英材质刻蚀的微结构一般使用热键合方法,将加工好的基片和相同材质的 盖片洗净烘干对齐紧贴后平放在高温炉中,不锈钢标牌价格,在基片和盖片上下方各放一块抛光过的石墨板, 在上面的石墨板上再压一块重 0.5kg 的不锈钢块,在高温炉中加热键合。
蚀刻是在光刻过的基片上可通过湿刻(wet etching)和干刻(dry etching)等方法将 阻挡层上的平面二维图形加工成具有一定深度的立体结构。选用适当的蚀刻剂,使 它对光胶、薄膜和基片材料的腐蚀速度不同,可以在薄膜或基片上产生所需的微结 构。 ? 复杂的微结构可通过多次重复薄膜沉积-光刻-蚀刻这三个工序来完成。微流控基片通过预处理,涂胶,前烘,水晶滴胶标牌价格,曝光,显影及坚膜,去胶等步骤后,广东标牌价格,材料上 呈现所需要的图形,即通道网络。 盖板与微流控芯片基片的封接 ? 基片和盖板封接后形成封闭的小池,可用来储存试剂或安装电极。
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