光罩

公司产品包括石英掩膜版，苏打掩膜版，以及菲林版。苏州制版根据客户的构想、草图，定制版图，苏州制版提供高质量掩膜版以及后期的代加工服务！

还有一种0.175mm后的银盐菲林统称光绘黑片，有遮光度和透光度的要求，即黑白分明（一般遮光度>4.0，透光度小宇0.04）。其镭射光源为650~670纳米的红色激光，类似高i端的富士XPR-7S级别菲林，线宽精度可以做到±1.5um级别；尺寸涨缩影响随环境变化，每1℃温度或每1%RH湿度改变，变化系数约为0.001%。

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写入Mask的时间跟精度要求相关，根据Tennant定律，单位面积上光罩的写入时间跟精度的五次方成正比。2010年之前，那时制程刚刚发展到45nm，一套光罩的写入时间在6小时之内。随着制程技术的发展，自2011年起，光罩，光罩写入时间以每年25%递增，如今14nm光罩的写入时间就需要20小时，到了7nm甚至需要50小时以上。光罩写入时间长，产出慢，制约了光罩技术的发展，而打破写入时间这一瓶颈，需要Multi-Beam的新技术。

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菲林在使用中需注意的事项

激光照排菲林中含有防光晕层，在定影、水洗的过程中有一些会脱落，在片基上形成淡蓝色的水斑，可在定影液中加入适量的坚膜剂消除。水洗槽要经常保持清洁，每天在工作结束后要将水槽中的水放掉，用干净的纱布擦干。每次加水之前要先将水放掉一些以除掉水锈，每周至少要坚持清洗水辊一次。

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