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超纯水技术在半导体行业的应用
预处理部分预处理的作用是对原水进行粗加工.提供符合Ro进水要求的给水。其主要用来去除原水中的悬浮物、胶体,使SD≤4;去除游离氯等氧化性物质;去除部分有机物;降低LSI ,避免碳酸盐结垢。在超纯水制造工艺中,传统预处理方式是“多介质过滤器+活性炭过滤器”。而该半导体制造厂采用了“粗过滤器+超滤装置”作为超纯水系统的预处理部分,主要原因如下:(I)传统的预处理过程中SDI值不好控制,一般>5,不利于后续的一级反渗透系统的运行;而超滤装置的出水SDI值比较稳定(}1),能够有效地保证一级反渗透系统的运行。(2)传统的预处理方式占地而积大,而“粗过滤器+超滤装置”占地而积小,工业纯水设备,节约了基建费用。(3)与传统的预处理方式在更换填料时需要大量的人力和物力相比,超滤装置的更换比较方便。(4)近年来,由于超滤技术的不断成熟,系统能够稳定安全地运行,纯水设备,而且超滤膜的价格也有了大幅度的降低,在一次性投资和运行维护费用上跟传统的预处理方式相比差不多。
一、超纯水设备中为什么会有气泡
超纯水设备制取超纯水用的源水,无论是以自来水为源水,还是地下水为源水,水设备,或者以纯水为源水。源水中总会溶有气体。这些气体可以大致分为:可反应性气体,不反应性气体,消毒副产物。这些气体大多通过自然溶入和人工加入的方法溶于水中,显然,起纯水中是不能含有这些气体的,特别是可反应性气体和消毒副产物。
反渗透膜介绍
反渗透膜是为了实现水溶液的反渗透现象,采用特殊工艺人工合成的一种半透膜。反渗透膜的孔径为0.0001微米(μm),只有水分子才能通过,而其溶质不能通过反渗透膜。在纯水机的净水系统中,反渗透膜专指成形的反渗透膜滤芯。反渗透膜滤芯是纯水机净水系统的核心部件,只有使用了反渗透膜,才能称为纯水机。RO膜可以去除水中的重金属、化学物质、颗粒物、细菌病毒、放l射性物质等对人体有害的物质。
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