氧化锆晶体衬底基片

氧化锆由于ZrO2单晶需掺入钇（Y）以稳定其结构， 一般实际使用的是YSZ单晶――加入钇稳定剂（含量约19%）的氧化锆单晶。它机械、化学稳定性好，价格较低因而得以广泛应用。单晶氧化锆（YSZ）陶瓷材料因其高强度、高硬度、耐腐蚀、耐高温而被认为是具有广泛应用前景的新型陶瓷。它作为一种重要的快离子导体，在氧传感器、氧泵浦、固体氧化物燃料电池已得到广泛应用和研究。

氧化锆存在三种稳定度同素异晶体：单斜相，氧化锆晶体衬底基片，立方相和四方相。纯氧化锆的单斜相从室温到1170℃是稳定的，超过这一温度转变为四方相，然后在2370℃转变为立方相，直到2680℃发生融化。由单斜相转变为四方相有滞后现象。

氧化锆(YSZ)晶体产品规格：常规晶向：<100>， <110>， <111>；晶向公差：±0.5°；常规尺寸：dia2'x0.5mm， 10x10x0.5mm， 10x5x0.5mm；抛光情况：单抛或双抛，Ra<5A。注：可按客户需求定制相应的方向和尺寸。

常压下纯的氧化锆(YSZ)有三种晶型，氧化锆晶体供应商，低温为单斜晶系，重庆氧化锆晶体，密度5.68g/cm3， 高温为四方晶系，密度6.10g/cm3，更高温度下为立方晶系，密度6.27g/cm3，三种晶型相互间的转化关系如下：单斜ZrO2  →  四方ZrO2  →  立方ZrO2  →   熔体。单晶氧化锆(YSZ)陶瓷材料因其高强度、高硬度、耐腐蚀、耐高温而被认为是具有广泛应用前景的新型陶瓷。

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