X轴 |
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测量范围 |
100mm |
分辨率 |
0.05um |
检测方法 |
反射型线性编码器 |
驱动速度 |
80mm/s和手动 |
测量速度 |
0.02-5mm/s |
移动方向 |
向前/向后 |
直线度 |
0.8um/100mm,2um/200mm
*当X轴在水平方向上 |
指示精度
(20°C时) |
± (1+0.01L)um
*L为驱动长度(mm) |
倾斜范围 |
±45° |
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Z2轴(立柱) |
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垂直行程 |
300mm |
分辨率 |
1um |
检测方法 |
ABSOLUTE线性编码器 |
驱动速度 |
0-20mm/s和手动 |
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Z1轴(检测器) |
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测量范围 |
±25mm |
分辨率 |
0.2um |
检测方法 |
线性编码器 |
指示精度
(20°C时) |
± (2+|4H|/100)um
*H为水平位置上的测量高度(mm) |
测针上/下运作 |
弧形运动 |
测针方向 |
向上/向下 |
测力 |
30mN |
跟踪角度 |
向上:77°、向下:87°(根据表面粗糙度,使用标准单切面测针) |
测针针尖 |
半径:25um、硬质合金针尖 |
电源 |
100-240VAC±10%,50/60Hz |