掩膜版

光掩膜版制造行业的发展趋势关键受中下游平板显示制造行业、触摸制造行业、电子行业和线路板制造行业的发展趋势危害，与中下游终端设备制造行业的流行消费电子产品（手机上、平板电脑、智能穿戴设备）、笔记本、车载电子、通信网络、电器产品、LED照明灯具、物联网技术、医i疗电子器件等商品的发展趋向息息相关，掩膜版，预估将来两年在我国光掩膜版制造行业将向几寸、精细化管理、产业链方位发展趋势。2011年在我国光掩膜版生产制造经营规模为0.87万平方，2016年生产制造经营规模提高至1.69万平方，年复合增长率超过14.20%。

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苏州制版提供包括全系列精度和面积的铬版和菲林版，目前投入生产有多台激光直写设备以及电子束曝i光设备。常规铬版CD精度±0.2um，高精石英铬版精度±0.07um。菲林版分辨率20um以上精度±2um。曝i光设备外，还拥有全自动显影柜，可以批量进行显影处理，保证生产能力。在图形检验阶段我们拥有自动光学检验机台（AOI），通过图形逻辑对比分析取样，修补能力1.2um，精度±0.1um。可以有效地排除缺陷问题。

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光刻掩模版通常用石英玻璃做为化学反应，选用方解石是因为其优质的近紫外线穿透率。掩模版遮光一部分用Cr，因此有时候也叫铬板。选用灯的g线应i线，在于你常用的光刻胶，每个光刻胶产品介绍都是列举其所比较敏感的纳米段。

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