特种气体

检测时样气（标气）流路也一样存在漏气问题。我们已找到改变分析操作能判断是否有漏气方法，并能大致确定漏量大小。还有“在检测<20ppbl超低微量气体成分时，不能采用紫铜及一般不锈钢材料”的说法也欠根据。氦离子化检测器和电子捕获检测器都是能直接捡测ppb级的检测器，在仪器上我们仍用一般紫铜与不锈钢管作连接管与色谱柱，只是要将管内清洗和置换干净就能满足要求[27]。在校验方法上，有人说“市售瓶装标准气含量在1—20ppm内，使用这种浓度的标准气去校验1—20ppb浓度的含量数据，两种数据大小相关1000倍，这是完全不合理的。”这是外行批评内行的话！好象批评者能配出含量为1—20ppb的标准气？因为很明显目前还没有人能得到纯度为9个“9”的配标准气的底气。基于目前只能配制出ppm级标准气，第l一底气纯度得到保证；第二个问题是配气误差。只要查一下国家l质量技术监督局批准的一级[GBW]和二级[GBW（E）]气体标准物质（共300多种）[11]，就可知道气瓶标气最l小配制浓度只能到1ppm。第三考虑到浓缩法能将ppb变为ppm级和检测器可以保证的线性范围。因而用ppm的标准气校验ppb级就不足奇怪。理论与技术上的研究，在许多内容上都是使“不可能”“不合理”的事，让它在一定条件下成为可能。

  高纯氮气主要运用在集成电路、半导体和电真空器件制造中用作保护气和运载气，化学气相淀积时的载气，液体扩散源的携带气，在高温扩散炉中用作器件的保护气。高纯氮在外延、光刻、清洗和蒸发等工序中，作为置换、干燥、贮存和输送用气体。显像管制造中要求氮气纯度为99.99%以上。在航天技术中，液氢加注系统必须先用高纯氮置换，再用高纯氦置换。

气体产品作为现代工业重要的基础原料，特种气体，应用范围十分广泛，在冶金、钢铁、石油、化工、机械、电子、玻璃、陶瓷、建材、建筑、食品加工、医l药医疗等部门，均使用大量的常用气体或特种气体。

高纯度气体管道中所有高纯度、高洁净的气体均需通过管路输送到仪器用点（POU），为了达到仪器对气体的质量要求，在气体出口指标一定的情况下，则更需重视配管系统的材料选用和施工质量。除取决于制气或净化设备的精度外，在很大程度上受到管路系统诸多因素的影响，因此，管材的选取应恪守相关行业原则，并注明管道材质。

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