厂商 :东莞市宝亿自动化科技有限公司
广东 东莞- 主营产品:
- 平面自动抛光机
- 模具钢镜面抛光机
- 数控自动抛光机
目前抛光机是一实现单晶硅片全局平面化的技术设备,采用该方法可使整个硅片获得超光滑和无损伤的表面。其中,抛光液的质量是影响CMP效果的一个关键因素。
目前,硅片CMP普遍使用粒径为50~70 nm的球形SiO2为磨粒。作为一种高效抛光粉,纳米CeO2已广泛应用于超大规模集成电路SiO2介质层和隔离沟槽的化学机械抛光,具有高抛光效率和高表面质量等优点。有研究表明,将球型纳米CeO2用于单晶硅片的化学机械抛光时,其抛光效率比球形SiO2高。
不过,平面抛光机纳米CeO2抛光硅片的研究还处在初始阶段,抛光液制备技术及相关抛光机理有待进一步完善。我国稀土资源居世界首位,如能开发出适于硅片抛光的纳米CeO2抛光液,将会促进硅片超精密加工技术的发展,社会经济效益可观。由此可见稀土抛光粉在单晶硅片的抛光过程中有着重要的作用,对单晶硅片的平面抛光机市场也有着相当大的影响。单晶硅片的平面抛光机技术在行业内的应用前景非常大,发展还有很大空间。
设备机头可根据产品的工艺要求安装砂带、尼龙轮布轮等耗材,东莞数控拉丝机生产商,四个机组设计,可依次过砂、去毛、拉丝处理,一台机器同时进行几道工序,设备采用PLC可编程控制,操作简单易上手,普通工人经过简单的培训即可上岗,水槽设计,降低砂带运行的温度,同时起到防尘的效果,该设备可根据客户的要求安装环保罩,拉丝机,生产过程更加环保节能。
圆管抛光机特点工作原理先容
机输送系统腹胀电磁调速电机单独式驱动,抛光系统采用多段抛光布置,使用维修简便。进纷呈量可单独调整.主机抛光头部采用单独式全封锁机箱,常常需调整的局部均设计成活门.换修利便,外开美观.本机可单独选择各种抛光工艺规范.主机抛光头合用各种磨具的装置和调整,且抛磨尺寸规格范围大,可一次完成多种磨具的组合抛光.进料架采用皮带轮传动,东莞数控拉丝机厂,具有体积小,传动可靠等长处.调整灵活,简朴。可完成所需各种输送速度的调整要示,且维修简便.变换出产品种规格时,只须按序调整各立式水平驱动支架上的手轮即可完成,调整完毕后拧紧各锁紧螺丝,出料架采用主动式胶辊输送工件,由气缸或卸料系统完成卸料工作.
圆管抛光机操纵的枢纽是要想法得到较大的抛光速率。即不会造成假组织。前者要求使用较粗的磨料,以便尽快除去磨光时产生的损伤层。同时也要使抛光损伤层不会影响观察到组织。以保证有较大的抛光速率来去除磨光的损伤层,东莞数控水磨拉丝机,但抛光损伤层也较深;后者要求使用较细的资料,使抛光损伤层较浅,但抛光速率低。
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