光学真空镀膜设备

真空镀膜机金属件装饰膜PVD镀制工艺

真空镀膜机金属件装饰膜PVD镀制工艺是一种高新技术，主要为在装饰产品设计。例如大型板材管材、家具装饰品上镀保护膜，镀膜后的产品能够展现出雍容华贵、光彩夺目等各种各样的美丽效果，并且膜层耐磨损不褪色。

1.装饰件材料（底材）

(1)金属。不锈钢、钢基合金、锌基合金等。

(2)玻璃、陶瓷。

(3)塑料。ABS、PVC、PC、SHEET、尼龙、水晶等。

(4)柔性材料。涤纶膜、PC、纸张、布、泡沫塑料、钢带等。

2.装饰膜种类

(1)金属基材装饰膜层：TiN、ZrN、TiC、CrNx、TiCN、CrCN、Ti02、Al等。

(2)玻璃、陶瓷装饰膜层：TiO2、Cr2O3、MgF2、ZnS等。

(3)塑料基材装饰膜层：AI、Cu、Ni、Si02、Ti02、ITO、MgF2。

(4)柔性材料装饰膜层：Al、lTO、Ti02、ZnS等。

真空中制备膜层可防止膜料和镀件表面的污染，消除空间碰撞，眼镜镀膜设备，提高镀层的致密性和可制备单一化合物的特殊功能的镀层。

为了提高镀层厚度的均匀性，镀膜设备厂，真空室内的镀件夹具有行星机构或自转加公转的运动装置，如用行星运动方式，这种运动方式成膜均匀性好，新北镀膜设备，台阶覆盖性能良好，镀件装载量大，可以充分利用真空镀膜室的有效空间，是目前经常采用的运动方式。

1.1真空镀膜vacuumcoating：在处于真空下的基片上制取膜层的一种方法。     

1.2基片substrate：膜层承受体。    

1.3试验基片testingsubstrate：在镀膜开始、镀膜过程中或镀膜结束后用作测量和（或）试验的基片。    

1.4镀膜材料coatingmaterial：用来制取膜层的原材料。    

1.5蒸发材料evaporationmaterial：在真空蒸发中用来蒸发的镀膜材料。    

1.6溅射材料sputteringmaterial：有真空溅射中用来溅射的镀膜材料。    

1.7膜层材料(膜层材质)filmmaterial：组成膜层的材料。    

1.8蒸发速率evaporationrate：在给定时间间隔内，蒸发出来的材料量，除以该时间间隔    

1.9溅射速率sputteringrate：在给定时间间隔内，溅射出来的材料量，除以该时间间隔。    

1.10沉积速率：在给定时间间隔内，沉积在基片上的材料量，除以该时间间隔和基片表面积。    

1.11镀膜角度coatingangle：入射到基片上的粒子方向与被镀表面法线之间的夹角。

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