化工尾气检测标准气体

电子混合气体和计量学上的标准气体有许多相似的特点，但又有许多不同，电子混合气体除了要保证其配制浓度的高精度外，更需要气体具有优良的品质，换言之，电子混合气体必须要确保混合好的气体中含有的有害杂质不能高于某值。在8in以上的IC生产线，也应对混合气体中含有的颗粒物进行控制和定值。

   1、电子混合气体的气瓶处理

   同其他气体不同，对盛装电子混合气体的气瓶的要求十分严格，化工尾气检测标准气体，否则，即便是混合气体配制的准确度再高，稳定性再好也无法使用。

   首先混合气体的气瓶几何尺雨如体积、直径、瓶高度要满足用户要求。在半导体等领域，气瓶通常安放在气瓶柜内使用，气瓶柜的尺寸及连接的管阀件确定后，气瓶的高矮胖瘦就不能随心所欲了。对于不同种类的混合气在气瓶色标、警示标志等方面国外已有极其详细的标准，如美国的CGA、欧盟的ISO等，我们国家在此方面仍在认识和完善中。

   2、电子混合气体配制装置技术要求

   同其他标准气体制备不同的是，河北标准气体，配制电子混合气体的装置似乎更为复杂，电子混合气体配气装置所用的管路必须是EP级别，材质为316L，精密压力表或压力传感器精度优于0.25级，材质316L。为确保配制装置不产生污染使用前要求系统。

最近发布了有关危险化学品的新法律法规。 可以看出，该国正在加强对危险品的管理。 我厂（广州光谱源气体有限公司）生产标准气体和高纯气体等产品。 这些新的关于危险化学品的法律和法规应引起更多关注，以确保它们不会运行并且可以安全使用而不会受到惩罚。

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