机床激光干涉仪

激光干涉仪的用途

SJ6000激光干涉仪结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在动态测量软件的配合下，激光干涉仪可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析。激光干涉仪的工作原理，激光干涉仪发射单一频率光束，光束射入线性干涉镜后分成两道光束射向反射镜，这两道光束再反射回到分光镜，最后重新汇聚返回激光干涉仪。

激光干涉仪性能特点

　　1.测量精度高、速度快，稳定性好

　　①使用美国高性能氦nai激光器，结合伺服稳频控制系统，达到高精度稳频(0.05ppm)

　　②以光波长(633nm)为测量单位，分辨率可达nm级

　　③使用高速光电信号采样和处理技术，测量速度可达到4m/s。

　　④配合有环境补偿单元，在环境变化的情况下，平面激光干涉仪，也可以得到较高的测量精度

　　⑤分离式干涉镜设计，避免了测量镜组由于主机发热而引起的镜组形变

激光干涉仪影响因素

余弦误差的影响

激光光束同运动坐标轴的调准误差会导致测量的距离和实际运动距离之间的误差，合肥激光干涉仪，该误差与(1-cosθ)成正比，机床激光干涉仪，θ为激光光束同运动坐标轴线之间的误差夹角。

　　当激光测量系统的光路调整得与运动坐标轴不同轴时，该余弦误差会导致测量距离比实际运动距离短，激光干涉仪报价，用激光测量系统测量的实际距离为Ls，而实际运动距离为Lm。如θ角为0.167°，则引起的余弦误差为5μm/m。

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