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商品详细描述
无尘车间不同级别空气洁净度的空气过滤器的选用、布置要点:对于300000级空气净化处理,可采用亚槁效过滤器代替槁效过滤器;空气洁净度100级、10000级及100000级的空气净化处理,应采用初、中、槁效过滤器三级过滤器;中效或槁效空气过滤器宜按小于或等于额定风量选用;中效空气过滤器宜集中设置在净化空气调节的正压段;槁效或亚槁效空气过滤器宜设置在净化空气调节系统的末端。
建设无尘车间应注意以下几点:
动线规划要点:要检讨分析人车路径、配管系统、排气管道、原料搬运和作业的流程等,净化工程施工价格,尽量缩短动线,并避免交叉,以防止交叉污染。作业者、化学yao品、材料等动线勿集中;无尘车间四周,宜设缓冲区;制造装置的出入,不要对作业产生大影响。节能原则:无尘车间里存在大量可以节约能源的地方,例如暖气、通风和空调(HVAC)、工艺冷却、压缩空气以及一些其他的设施。 HVAC系统消耗的电力超过了整座晶片制造厂用电量的一半。
清洁要求
(1)清洁洁净室内的墙时应使用洁净室无尘布;
(2)用90%去离子水和10%的异bing醇配置清洁剂;
(3)使用已获批准的洁净室专用去污剂;
(4)每天都要检查车间和整备间的垃圾箱,并及时清走。
(5)每块地板都要吸尘。每次交接班时,都应在地图上标明工作完成情况,例如在哪结束从哪开始。
(6)清洁洁净室的地面应使用专用拖把。
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