管式炉

管式炉的特点 以及制备的必要条件

CVD管式炉特点：

   淀积温度低，薄膜成份易控，膜厚与淀积时间成正比，均匀性，重复性好，台阶覆盖性优良。

CVD管式炉制备的必要条件

   1） 在沉积温度下，广州管式炉，反应物具有足够的蒸气压，并能以适当的速度被引入反应室；

   2） 反应产物除了形成固态薄膜物质外，真空高温管式炉，都必须是挥发性的；

   3） 沉积薄膜和基体材料必须具有足够低的蒸气压。

管式炉常见故障及排除方法

一.设定温度与炉内温度误差大

原因：

1．  温度传感器坏

2．  控温仪坏

排除方法：

1．  换传感器

2．  换控温仪

现象：

二.超温报警异常

原因：

1．  设定温度低

2．  控温仪坏

排除方法：

1．  调整设定温度

2．  换控温仪

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管式炉控温准确，操作比较简单

管式炉均系周期作业式。供实验室、工矿企业、科研单位作元素分析测定和一般小型钢件的淬火、退火、回火和电子陶瓷等新材料的加热用。

管式炉设备的成套供应范围有温度控制器、热电偶、补偿导线等。温度控制有继电器控制、可控硅控制二种，实验室管式炉，由于是间歇式作业炉，一般都采用40段PlD高1级可编程控制，能严格控制产品的烧制过程。  

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