X-RAY测厚仪

（一）、内部结构

   X荧光光谱测厚仪机型很多，但是其内部结构如果先天不足，测厚仪，后期的外部结构无论自动化多高，也无法完全满足客户需求。内部结构重要的3点：

1、X荧光发射和CCD观测是否同步和垂直？

2、测试样品是否可以变化测头到样品的距离？

3、X光照射面积从出口到样品的扩散情况。

（二）、各种内部结构的优缺点

   1、X荧光发射和CCD观测样品只有同步且垂直才不会因为样品的高低深浅变化而改变测试到样品的位置，才能保证定位精准，同时减少与探测器或计数器的夹角，夹角小测试时

受样品曲面或者倾斜影响小。

2、测试样品距离可变化才能测试高低不平带凹槽的样品工件，同时也兼顾好平面样品的测试。但是它需要配备变焦镜头和变焦

补偿射线的算法。

3、X光照射面积从出口到样品的扩散过于严重会导致无法测试样品工件上较小的平面位置，五金电镀测厚仪，如果减小出口（准直器直径），又会严重耗损X光的强度。

因此一台此类仪器的小准直器不是关键，XRAY测厚仪，但是测试面积却是个最重要的指标。

测厚仪操作时候需要注意的：

技术指标：

1 分析元素范围：Cl（17）-U（92）

2 同时可分析多达5层镀层以上

3 分析厚度检出限高达0.01μm

4 多次测量重复性高可达0.01μm

5测量时间：5s-300s

6 计数率：0-8000cps

测厚仪操作流程

打开仪器开关----在电脑上开启软件-------开高压钥匙-------联机------预热-----峰位校正------新建程式------选择相应的程式-----测试样品----出报告

测厚范围可测定厚度范围:取决于用户的具体应用。将列表可测定的厚度范围-基本分析功能无标样检量线测厚，可采用一点或多点标准样品自动进行基本参数方法校正。根据客户本身应用提供必要的校正用标准样品。样品种类:镀层、涂层、薄膜、液体(镀液中的元素含量)可检测元素范围:Ti22–U92可同时测定5层/15种元素/共存元素校正组成分析时，X-RAY测厚仪，可同时测定15种元素多达4个样品的光谱同时显示和比较元素光谱定性分析-调整和校正功能系统自动调整和校正功能:校正X射线管、探测器和电子线路的变化对分析结果的影响，自动消除系统漂移谱峰计数时，峰漂移自动校正功能谱峰死时间自动校正功能谱峰脉冲堆积自动剔除功能标准样品和实测样品间，密度校正功能谱峰重叠剥离和峰形拟合计算-测量自动化功能(要求XY程控机构)鼠标控制测量模式:'PointandShoot'多点自动测量模式:随机模式、线性模式、梯度模式、扫描模式、和重复测量模式测量位置预览功能激光对焦和自动对焦功能-样品台程控功能(要求XY程控机构)设定测量点OneorTwoDatumn(reference)Pointsoneachfile测量位置预览

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