N型卧式冷凝泵批发

1.N型卧式冷凝泵转子部件由首级叶轮、次级叶轮，轴套、锁紧螺栓、间隔套、挡套、套筒联接器主轴等组成。

2、根据流量要求吸入条件，首级叶轮为双吸形式，而次级则为单吸导叶型或单吸斜流型。

3、为平衡筒体吸入内腔与冷凝器内的压力，排出吸入室内的气体，改善和稳定吸入室内外气体，改善和稳定吸入性能，在冷凝泵和吸水室之间设有平衡管理系统。

N型卧式冷凝泵出现故障时，可能出现的几种原因：真空不良产生的原因。① 真空安全阀泄露。② 冷板安装不正确、劣化、再生不良③ 前级泵抽气时间过长, 使油返回到真空室后又被吸附到冷板上。④ 制冷温度达不到20K以下: 1.冷冻机制冷能力劣化; 2.压缩机压缩能力降低(很少发生) ;3.He气压力过低; 4.He气充填压力过高。⑤ 若仍然不行,则可能是冷冻机的相位角有偏差。

由于低温N型卧式冷凝泵具有无油, 对所有气体的抽速都较大, 特别是对水蒸汽、H2等抽速很大, 适应性强, 制冷机低速运行, 且运动部件很少, 有利于长期可靠运行等优点, 因而, 被广泛应用于IC生产工艺中的蒸发、溅射、离子注入、分子束外延以及其它诸如高能粒子加速qi、受控热核反应、电真空器件、材料科学、表面分析仪器等领域,以此来获得清洁的高真空或超高真空。

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