粗糙度轮廓仪

光学轮廓仪定义

光学轮廓仪一款用于对各种精密器件表面进行亚纳米级测量的检测仪器。它是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，粗糙度轮廓仪定制，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌的3D测量的光学检测仪器。

轮廓仪性能特点

高精度、高稳定性、高重复性：分辨力0.01μm，完全满足被测件测量精度要求。

1) 国际领1先的高精度光栅测量系统，分辨力达到0.01μm，轮廓仪，测量精度高；

2) 自主研发高精度研磨导轨系统，粗糙度轮廓仪厂家，导轨直线度达到2μm/200mm，导轨材料耐磨性好、保证系统稳定可靠工作；

3) 高性能直线电机驱动系统，保证测量稳定性高、重复性好。

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