FE5000椭偏仪

椭偏仪的光谱范围在深紫外的142nm到红外33um可选。光谱范围的选择取决于被测材料的属性、薄膜厚度及关心的光谱段等因素。例如，掺杂浓度对材料红外光学属性有很大的影响，因此需要能测量红外波段的椭偏仪；薄膜的厚度测量需要光能穿透这薄膜，到达基底，然后并被探测器检测到，因此需要选用该待测材料透明或部分透明的光谱段；对于厚的薄膜选取长波长更有利于测量。
磁光广义椭圆偏振（Magneto-optic generalized ellipsometry， MOGE）是一先进红外光光谱椭圆偏振技术，FE5000椭偏仪，用来测量在导体样品中自由电荷载子之特性。藉由外在磁场，便有可能独立地决定电子密度（en:Electron density）、光学之电子移动力（EN:electron mobility）参数及自由电荷载子之有效质量（en:effective mass）。在无磁场的状态下，只可能取得其中两项自由电荷载子参数。
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