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检测时样气(标气)流路也一样存在漏气问题。我们已找到改变分析操作能判断是否有漏气方法,并能大致确定漏量大小。还有“在检测<20ppbl超低微量气体成分时,黄石高纯气体,不能采用紫铜及一般不锈钢材料”的说法也欠根据。氦离子化检测器和电子捕获检测器都是能直接捡测ppb级的检测器,高纯气体 标准,在仪器上我们仍用一般紫铜与不锈钢管作连接管与色谱柱,只是要将管内清洗和置换干净就能满足要求[27]。在校验方法上,有人说“市售瓶装标准气含量在1—20ppm内,使用这种浓度的标准气去校验1—20ppb浓度的含量数据,高纯气体公司,两种数据大小相关1000倍,这是完全不合理的。”这是外行批评内行的话!好象批评者能配出含量为1—20ppb的标准气?因为很明显目前还没有人能得到纯度为9个“9”的配标准气的底气。基于目前只能配制出ppm级标准气,第l一底气纯度得到保证;第二个问题是配气误差。只要查一下国家l质量技术监督局批准的一级[GBW]和二级[GBW(E)]气体标准物质(共300多种)[11],就可知道气瓶标气最l小配制浓度只能到1ppm。第三考虑到浓缩法能将ppb变为ppm级和检测器可以保证的线性范围。因而用ppm的标准气校验ppb级就不足奇怪。理论与技术上的研究,在许多内容上都是使“不可能”“不合理”的事,让它在一定条件下成为可能。
高纯氮气主要运用在集成电路、半导体和电真空器件制造中用作保护气和运载气,化学气相淀积时的载气,液体扩散源的携带气,在高温扩散炉中用作器件的保护气。高纯氮在外延、光刻、清洗和蒸发等工序中,作为置换、干燥、贮存和输送用气体。显像管制造中要求氮气纯度为99.99%以上。在航天技术中,液氢加注系统必须先用高纯氮置换,再用高纯氦置换。
真空涂层的应用针对不同的模具(塑胶模、五金冲压模、压铸模、模具配件、成型模等)和机械耐磨、耐蚀零件等高要求五金制品所采用的PVD涂层工艺,可显着提高产品表面硬度、耐磨性、耐蚀性、耐热性以及润滑性;并能方便脱膜,大力提升模具、零件的品质(如表面粗糙度、耐磨性、精度等)和使用寿命,使其有效的发挥产品的潜能。在模具的使用过程中,早期失效经常出现。失效的因数通常是磨损、腐蚀、融合、粘着等。其问题不单是拖延生产周期,高纯气体生产经销商,也大大增加了生产成本,进而影响企业竞争力。为此,业界陆续推出不同的解决方案,而PVD涂层表面处理技术是倍受青睐的方案,能最l有效的解决上述难题。 PVD涂层技术可以广泛应用于各类磨损、咬合、腐蚀、粘着、融合等而引起失效的工具、模具、机械零件、医疗l器械等。其中,因磨损引起的失效的产品(如:冲裁、冷镦、粉末成型等)涂层后可提高寿命2-20倍以上;因咬合引起产品或模具的拉伤问题(如:引伸模、拉伸模、翻边模等),涂层后可以从根本上予以解决。
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