换热器氦检漏设备

北京科仪创新真空技术有限公司

北京科仪创新真空技术有限公司（简称：科仪创新）出资成立，创建于2015年，注册资金500万。是国内新兴的一家专业从事真空领域的高新技术企业。科仪创新产品主要有：薄膜制备设备，真空冶金设备，检漏设备，真空系统等非标真空产品；系列分子泵，离子泵，钛升华泵，换热器氦检漏设备，深冷捕集泵等高真空获得设备；系列干式涡旋泵，干式爪泵，干式螺杆泵等无油真空获得设备；超高真空环境模拟设备等高新技术产品。科仪创新-以创新为理念。使产品与技术达到国内先进水平，形成了具有自主知识产权的较完整的真空产品产业链。产品和技术广泛应用于新能源、新材料、电子、电力、航空航天、半导体、超导、离子、IC装备、科研、节能环保等领域。

 SF6气体作为一种绝缘气体，具有不可燃和良好的绝缘特性，其绝缘强度大大高于传统的绝缘气体，并具有良好的灭弧性，因此广泛应用于SF6电器。本装置就是为了制造和维修SF6电器设备时，回收和充加SF6气体的一种专用设备。                                                    

  SF6气体回收充放装置具有回收、充放、净化、抽真空、贮存、灌瓶等综合性的功能，空调换热器氦气检漏回收设备，系统比较完全，参见附录一系统图。各功能的串联或切换主要通过操作集中于面板一侧的电控箱和球阀来完成。

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真空箱式氦检漏系统[机械系统部分]

科仪创新-以创新为理念。使产品与技术达到国内先进水平，形成了具有自主知识产权的较完整的真空产品产业链。产品和技术广泛应用于新能源、新材料、电子、电力、航空航天、半导体、超导、离子、IC装备、科研、节能环保等领域。科仪创新-以技术为保障。公司汇聚了国内真空行业的专家、专业技术人员和专业的管理团队，他们熟悉真空、机械、高温、低温、镀膜、材料、检漏和自动化控制等专业，也深知现代高新技术企业的内涵，为客户提供完善的技术保障。

机械系统主要由以下四个单元构成：真空箱单元、充氦气回收单元、检漏单元、清氦单元。

1.1真空箱单元

真空箱单元由真空箱、真空泵组、真空测量装置、真空阀、执行装置及不锈钢管道等组成。

真空箱：采用不锈钢材质制造，其内表面在加工后经抛光和清洗处理，保证了良好的本底和极少的藏气，提高了真空箱的抽空效率。

1.2 充氦气回收单元

充氦气回收部分主要包括储气(高压)罐、回收(低压)罐、压缩机、真空泵、电磁阀、真空阀、压力传感器、真空计和管道等组成。能在设定的时间内对工件进行抽空、充氦气和氦气回收等处理。

1.3 检漏单元

真空箱式氦检漏系统机械系统部分的氦检漏单元，氦质谱检漏仪采用进口产品，自动校准漏孔。技术成熟，性能稳定，安装维护方便，使其和真空箱连接更加协调紧密。

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                            充气柜检漏设备系统工作原理详解

抽真空检大漏

检漏时先将工件放在工件转运平台上，人工将工件推入真空箱，然后将工件与系统连接，按下双启动按钮，箱门自动关闭，剩下的工作系统自动完成。

箱门关好后，系统打开V3 和V4，关闭V1，V5，V6，换热器氦检漏设备氦检机， V7，对真空箱和工件抽真空，并同时监测工件内真空值和真空箱的真空值，并保证工件内压力比真空箱压力不超过0.04Mpa。当真空箱内压力为20Pa，工件内压力抽到1000Pa时保压150S，测量开关柜和真空箱内真空值的变化，如果真空箱内真空度变化不超过设定值（如100 Pa）说明工件无大漏，否则说明工件有大漏，系统自动给出声光报警，人工按下确认按钮，系统结束检测，如果工件无大漏，继续抽真空检中、微漏

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