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真空烧结炉是指在真空环境中对被加热物品进行保护性烧结的炉子，其加热方式比较多，如电主要用于半导体元器件电力整流器件的烧结、封装等工艺；可进行真空烧结、气体保护烧结及常规烧结。也用于低温、低真空的工艺处理。设计合理、结构紧凑，可在一台设备运行多条工艺。本系列设备主要分为单工位真空烧结炉、双工位真空烧结炉、三工位真空烧结炉、立式真空烧结炉。 产品特点 ● 关键件全部采用进口件，具有高可靠性 ● 具有可编程的升、降温功能 ● 具有多种工艺管路，可供用户随意灵活配置 ● 具有高抗干扰能力 ● 具有断偶报警、超温报警等多种安全保护功能 ● 自动或手动自由转换 技术参数 ● 炉膛材质：石英管、不锈钢 ● 真空室工位：1～3工位 ● 工作室内径：Φ100～Φ350mm （定制） ● 工作温度：300～1200℃ ● 恒温区精度：≤±2 ℃ ● 恒温区长度：300～1000mm （定制） ● 真空系统：机械泵+扩散泵/分子泵 （定制）● 真空度：5 x 10-3Pa ● 工艺气体：N2、Ar、H2等 ● 正压、负压均采用数字显示 ● 工作方式：自动或手动自由转换 ★ 可为用户量身定制非标准产品

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