电子厂废气治理

工业废气的处理方法

目前废气处理的控制技术需从处理效果、工程投资、运行成本、自控程度、占地大小和有无二次污染等方面对技术装备进行评价。在实施方面也是本着因地制宜的原则，选用最适合于本地区和本现场的具体情况的控制方案和技术设备。废气治理管理和控制技术比起其它处理技术本身也是一个较新的领域，因此，单元操作仍然是处理方法的主流。

NOx废气的净化

烟气脱硝

在烟气净化技术上控制NOx排放，甲醛废气治理，目前主要方法有选择性非催化还原SNCR、选择性催化还原SCR、低氮燃烧技术和电子束照射法、臭氧氧化法、吸附法、氧化吸收法等。其中，废气治理，选择性非催化还原SNCR、选择性催化还原SCR，焊锡废气治理，低氮燃烧，臭氧氧化法等技术已商业化。

含卤素废气的净化

1、含氟废气的净化

吸附法

该法是以粉状的吸附剂吸附废气中的氟化物。该净化方法首先是烟气与吸附剂的接触，完成吸附过程;二是烟气与吸附剂分开。该过程都是在吸附设备中完成的。

特点：净化效率高、工艺简单、没有水的二次污染，也不受各种气候的影响，但净化设备的体积较大。

工业废气处理

吸收法

该法是用水、减性溶液或某些盐类溶液来吸收含氟废气中的氟化物，从而达到净化回收的目的，电子厂废气治理，同时还可以得到副产品冰晶石等。

水法吸收和碱吸收法是常用的两种方法。

特点：净化工艺过程可以连续操作和回收各种氟化物，净化效率高；其缺点是会造成二次污染，在寒冷地区还需保温措施。

稀释法

是向含氟气体的厂房送新鲜空气或将含氟废气向高空排放进行自然稀释。这种方法一般不采用。

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