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氧化扩散炉主要应用于半导体器件、分立器件、光电子器件、电力电子器件、太阳能电池及大规模集成电路制造等领域对晶片进行扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺，可用于2-8英寸工艺尺寸。控制系统特点：可保存多条工艺曲线，每条曲线可设置多步工艺曲线的自动运行控制功能；自动运行中可暂停/继续运行功能；工艺中可强制跳到下一工艺步运行功能；可存储多组PID参数供系统运行调用功能； PID参数自整定功能；具有自主知识产权的软件系统，良好的人机界面；系统故障自诊功能 ；工艺气体的程序控制功能；停电后断点继续运行功能等； 关键件全部具有高可靠性；具有历史记录功能；具有多种故障报警及各种安全互锁保护功能 ；具有多点温度补偿。

青岛合顺合电子设备有限公司创始于2016-01-15。在竞争日益激烈的电子产品制造设备行业中发愤图强、力争上游，创办至今已为广大需求对象提供了数不胜数的高品质氧化扩散炉，优质的产品品质获得了需求对象一致肯定，在消费者中有口皆碑。

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