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D07-7B 气体质量流量控制器

流量量程5sccm，10sccm，20sccm，30sccm，50sccm，100sccm，200sccm，300sccm，500sccm，1slm，2slm，3slm，5slm，10slm

产品精度±1.5％F.S.

重复精度±0.2% FS

线性±1％F.S.响应时间≤10sec

工作温度范围(5~45)°C耐压3MPa密封材料氟橡胶Viton，氯丁橡胶(耐氨橡胶)

 Neoprene

输入输出信号(0~5)VDC

电源±15V阀类型常闭温度系数- 无 -零点飘移指标- 无 -电气连接D sub 15 pins Female

工作压差范围(0.1～0.5) MPa漏率1×10-8atm?cc / sec He（1×10-9 Pa?m3 / sec He）

标准接头形式双卡套Φ8，双卡套Φ6，双卡套Φ3，双卡套1/8”，大学实验室非标设备制造厂家，φ4(内)×1软管接头，北京实验室非标真空设备，VCR1/4”，双卡套1/4”，北京大学实验室高真空设备，φ6(内)×1

软管接头表面化学成分- 无 -表面粗糙度- 无 -抗电磁干扰- 无 -重量1.1Kg

                                热式质量流量计、质量流量控制器生产厂家

热式气体质量流量计既可进行一个气体流量计量工作，也可用于过程控制领域。它引进美国先进技术生产，无须温压补偿，直接测出流体的质量流量。它的突出特点是：没有可动部件；压力损失小；量程比宽；精度高；可靠性高；安装简单，操作方便。可以在所有领域多方面替代孔板和差压式流量计。

热式气体质量流量计主要用于测量以下介质，高炉煤气，焦炉煤气，煤气，空气，氮气，氢气，天然气，氮气，烟道气，甲烷，丁烷，燃气，沼气，二氧化碳，氧气，压

缩空气，二氧化硫，氨气等各种气体

热式气体流量计采用热扩散原理，热扩散技术是一种在苛刻条件下性能优良、可靠性高的技术。其典

型传感元件包括两个热电阻（铂RTD），一个是速度传感器，实验室，一个是自动补偿气体温度变化的温度传感器

。当两个RTD被置于介质中时，其中速度传感器被加热到环境温度以上的一个恒定的温度，另一个温度传

感器用于感应介质温度。流经速度传感器的气体质量流量是通过传感元件的热传递量来计算的。气体流速

增加，介质带走的热量增多。使传感器温度随之降低。为了保持温度的恒定，则必须增加通过传感器的工

作电流，此增加的部分电流大小与介质的流速成正比。

                                      质量流量计产品主要技术参数

 

是否显示累积流量否外形嵌入型显示器数1输出电源±15V基准源+5.00V±0.1% 10mA供电电源~85-265VAC 50/60Hz、功耗15W输入信号0~+5.00V 4~20mA/0~10mA输出信号0~+5.00V 4~20mA/0~10mA控制通道数1MFC/MFM抗电磁干扰CE外形尺寸96×96×157mm重量1kg开孔尺寸- 无 -

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