实验室规划设计

方案中的新风机组(MAU)有五大任务：

(1)新风机组要有维持洁净室内的正压和补充工艺设备排风的足够新鲜空气量，以防止外面污染空气的渗入。一般情况新风量应该等于洁净室的排风量加上维持室内正压的渗漏风量之和。

(2)新风机组要能确保洁净室内严格要求的相对湿度。因此夏季新风机组要有足够的降温去湿能力，在冬季还要求一定的加湿手段。

(3)新风机组内要设置多级过滤器(粗效、中效、过滤器)以保护FFU终端的超过滤器。

(4)新风机组要能吸收和吸附室外大气内中的有害气体成份，以消除新风中的分子污染。为此，新风机组内还应设置淋水室以吸收N、S、等有害的元素。淋水室有一级淋水和两级淋水(一级淋自来水、二级淋纯净水)，同时还要设置化学过滤器(活性炭过滤器)用以吸附新风中的有害分子成份。

(5)在黄河以北，尤其是我国的东北地区，在冬季室外空气温度在零下十几度或几十度。因此，新风机组在北方需要考虑防冻预热的措施。

·方案中的风机过滤器机组(FFU)就是保证洁净室内高级别的洁净度。FFU中的过滤器根据洁净度的要求，可采用过滤器(H14)或超过滤器(U15、U16、U17)。

对FFU性能的要求：

(1)FFU出风的断面风速v≥O．45 m／s；断面风速的均匀度应为士15％。

(2)FFU的机外余压应≥120 Pa。

(3)FFU的机外噪声应≤50 dB(A)。

(4)FFU的风机寿命应为5000～8000小时。

·方案中的干冷盘管(DC)是保证洁净室内各区域的温度及其精度的重要设备。

对干盘管(DC)的要求：

l、空气通过干盘管的阻力<40 Pa；因此通过干盘管的风速应≤2 m／s。

2、通过干盘管的水初温应比洁净室内空气温度高1℃～2℃。

3、干盘管设置时可竖放或斜放，但不可水平设置。

4、干盘管下部还应设置不锈钢的滴水盘和排水系统。

实验室通风系统工程的设计其它功能要求

通风柜操作面板控制系统须为液晶显示（使用者操作起来更安全方便）。柜内高温报警功能；如选用KFJ-17型面风速监控声光报警器（风速过高、过低报警功能）；自动保护装置，唐山实验室装修，能彻底抽空残余腐蚀、有害、有毒气体；电压0～220V范围内任意调节功能；步进风阀执行系统任意调节功能。

（二）变风量系统（VAV）通风柜

1、根据美国ANSI Z9.5-2003标准，通风柜面风速高于或低于0.5m/s都可能导致有害气体外逸，过低的面风速无法有效排放的有害物质，过高的面风速导致通风柜内气流形成紊流和涡流，同样可能导致有害物质逸出。为确保排风效果，通风柜采用VAV变风量控制方式，要求通风柜面风速稳定在0.5m/s±5%；

2、采用直接风速测量控制系统，能够快速有效的保证通风柜面风速，从而达到保证实验室工作人员安全的目的。为避免环境温湿度对普通风速传感器的基准点飘移影响，通风柜控制系统使用热线型风速传感器对面风速进行真实测量；风速传感器配备独特的自洁式过滤器，具有防灰尘堵塞功能；

3、风速传感器检测到面风速变化时，控制器发出信号给执行器，通过改变变风量阀门开度来使面风速回到设定值，要求系统响应时间小于3秒；

4、通风柜的风速传感器实时监测真实的面风速，当面风速不在设定范围内时，经15秒后监控器发出声光报警；

5、监控器有较大风量和较小风量功能，当发生紧急情况时可以按下较大风量按钮，排风阀门完全打开，当希望通风柜以小风量运行时（例如晚上）可以按下较小风量按钮，通风柜以小风量运行；

6、监控器还具有低风速运行按钮，按下这一按钮，可以使面风速设定值为正常值的70%，用来减少气体排放以节能，（当通风柜内有高危险性物质时不建议使用）。

五、通风系统控制

（一）定风量系统控制

1、系统采用静压传感自动变频控制（或PLC编程控制），静压传感自动变频控制可以根据开启通风设备的数量变化，将其感应到的静压转变成0-10v的电信号输入变频器从而自动调节风机频率，使风机的抽风量与实际所需排风量相匹配，从而确保排风效果，达到节能节噪的效果；

2、每台通风柜安装一个电子风量调节阀，其控制开关和变频控制系统及风机联动，可实现单台或多台通风设备等不同工况下的控制。风量调节阀采用数显可调角度的电子风量调节阀，并且有记忆功能（即可以记住此次调节的角度，下次打开时仍然调到设计的角度）。

3、系统风阀和风机整体联锁，实验室装修工程，实现气流的有序流动，平衡系统风量，防止气流反串、倒流。

（二）变风量系统（VAV）控制

1、系统采用静压传感自动变频控制，静压传感自动变频控制可以根据开启通风设备的数量变化，将其感应到的静压转变成0-10v的电信号输入变频器从而自动调节风机频率，使风机的抽风量与实际所需排风量相匹配，从而确保排风效果，达到节能节噪的效果；

2、每台通风柜安装一个文丘里变风量风阀，其控制开关和变频控制系统及风机联动，可实现单台或多台通风设备等不同工况下的控制。变风量调节阀门采用数显可调角度的文丘里风阀，并且有记忆功能（即可以记住此次调节的角度，下次打开时仍然调到设计的角度）。

3、系统风阀和风机整体联锁，实现气流的有序流动，平衡系统风量，防止气流反串、倒流。

佛山万级无尘室

  洁净室应设有设备和物料净化用室，并在此房间内设有相应的物料净化设施，对搬入洁净室的设备和物料进行净化处理。该物净用室的面积、空间尺寸和物净设施，应根据物料的特征、性质、形状等确定，实验室规划设计，比如按物料的包装方式、物化性质的不同，可采取真空吸尘、压缩空气吹除、擦拭等不同方法进行物料净化处理等。

惠州万级洁净车间

 电子工业洁净厂房，由于电子产品品种、规格、产量的不同，实验室装修造价，其洁净室的规模和空气洁净度等级要求差异较大现如今的大规模集成电路用你洁净厂房或TFT-LCD用洁净厂房的建筑面积一般均在几万平方米，空气洁净度等级为1-3级或4-5级，而印制电路版生产用洁净室的建筑面积一般只有几百平方米，且有时还根据工艺布局要求需分多处设置，空气洁净度等级为7级或8级。为此，人员净化用室和设施应根据洁净室的规模、空气洁净度等级设置，并应设置生活用室。电子工业洁净厂房中人员净化用室、生活用室以及空气吹淋室、气闸室、洁净工作服洗涤间和干燥间等均应在具体工程项目设计时，根据实际情况和需要设置。

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