电子洁净厂房厂家

厂商 :珠海朗洁万达科技有限公司

广东 珠海
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电子厂房净化空调工程改造设计


该厂房位于天津市开发区,建于1995年,主要生产半导体芯片。系统总面积1510m2, 其中空调面积385m2,净化面积1125m2,净化级别除黄光室为千级外,其余均为万级。

  1.2 系统存在的主要问题

  (1)厂房内只对千级间黄光室设围护结构,

  其余房间均为敞开式,净化区域与非净化区混合在一起,系统较为混乱,难以控制和调节,净化区域的洁净度不能达到要求;

  (2)非净化区域的扩散炉,经测定表面温度可达50℃,散热量非常大,在原有设计中存在空调送风量不足问题,造成扩散炉周围区域的温度高达

37℃,并且回风循环使用,不利于节能;

  (3)酸洗槽的排风量不足,平均断面风速为0.1m/s,酸性物质存留在室内环境中,不能有效地排出,严重影响室内的卫生和生产环境;

  (4)在厂房洁净区入口处的风淋室风速为12m/s的要求,需要更换循环风机。

  2、改造方案

  针对系统运行中出现的的以上情况,经与甲方协商,提出了改造方案。

  2.1 工艺布置改造方案

  2.2 净化空调系统改造方案

  3、改造后的使用效果

  系统改造后经高度确保每个房间的风量、正压达到设计要求,在动态下检测,厂房的洁净度、温湿度、噪声、照度等各项指标均达到设计要求。

  4、结论

  本工程改造前主要特点表现在系统工艺布置不合理(未对净化区及非净化区时行明确划分)、混用净化及非净化区空调系统,不符合“规范”的要求;酸洗槽排风量不足;护散炉区因送风少及未设局排设施导致环境温度超标;改造后将生产工艺布局做了适当调整,按照规范的要求,对净化区及非净化区单独设置空调系统;加大酸洗槽排风量,同时采用了热排风回收装置,对补充新风进行预热(预冷),节约能源,降低运行费用。建议在今后的空调工程设计中,对于生产环境有要求的工艺,既应该按照生产过程布置工艺,同时还要考虑到有利于空调净化系统的调节和控制,保证生产环境的可靠性。



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朗杰万达科技有限公司产品广泛服务于:生物制药厂、卫生室、化妆品制造厂房、食品饮料加工车间、电子科技工作车间、仪器实验室等。承接各大型净化空调安装工程、自流平地面、净化车间、实验室净化等工程。

售后服务:我们定期进行相关的数据监测,通过实测数据为科学依据对系统进行合理判断。

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超净间最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为超净间。


实验室通风与舒适性空调系统的通风设计要求不同,主要目的是提供安全、舒适、节能的工作环境,减少人员暴露在危险空气下的可能。通风主要解决的是工作环境对实验人员的身体健康和劳动保护问题。

实验室通风有几种方式:空调新风、通风柜及万向罩等的排风、房间压差来实现。 实验室通风要求新风全部来自室外,然后100%排出室外,电子洁净厂房厂家,通风柜的排气不在室内循环。化学实验室换气要求每小时大于10次,物理实验室每小时大于10次,实验室无人时换气可减少为6次。

实验室通风柜设计数量要足够,并且不作为室内排风装置,仪器室或产生危险物质的仪器上方设局部排风系统。

实验室的补风一部分来自空调系统直接送入实验室的新风,这部分新风根据实验室排风量的变化而变化;另一部分通过空调系统送入非实验室区域的走道、房间再通过实验室的门缝补给。

实验室的负压通过送、排风风量和送排风口的布置来实现,气流组织从办公、管理用房、内走道、到产生危险物质的实验房间。通风柜的位置布置在远离空气流动、紊流大的地方,远离行走区域和空气新风区。新风从远离通风柜的地方引入,空气流动路径远离通风柜。


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