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夏季中水环式真空泵真空度降低的原因
最近很多客户反映,真空泵(尤其是水环式真空泵)的真空度老是达不到,之前一直还好好的,adixen 真空泵维修,突然间真空度就降了很多,通过我公司技术人员分析得到了以下几点原因:
(1)夏季工况下,水环式真空泵采用循环水冷却工作水,常因循环水温度过高导致真空泵的抽吸能力下降,双级旋片式真空泵维修,效率降低。通过分析,采用电厂中央空调冷冻水冷却水环式真空泵的工作水,提高了凝汽器的真空,经济效果可观。
(2)其他条件不变的情况下,工作水温越低对真空的影响越小,工作水温越高对真空的影响越大。
(3)对于双背压凝汽器,由于低压凝汽器所对应的凝汽器压力较低,极易出现水环泵的极限抽吸压力高于凝汽器压力应达值,真空泵维修,因此应特别注意水环式真空泵工作水温升高对低压凝汽器的影响。
(4)在低负荷工况下,降低工作水温度以提高凝汽器的真空效果更佳。
干式真空泵可以分为几类?
现在,您可以看到干式真空泵有着如此多的不同设计,它们各自有着自己的特性和优缺点。一直以来,机械真空泵维修,使用成本是一个影响人们选择真空泵的重要因素。越来越多的真空泵用户意识到也应该将真空泵运行的稳定性考虑进去。因为真空泵的意外出错会引起机器的使用效率降低,影响到晶圆的生产和交货期,甚至造成所加工晶圆的报废和机器其它部件的损坏。
由于螺杆式设计为单级设计,同多级泵如圆裂片式,爪式以及组合式相比,其在零件的使用数量上减少了百分之六十。这使得其在稳定性和将来的维修成本上有很大的优势。
综合考虑,如果用户认为耗电量对他来说最为重要而氮气用量对他来说最不重要,那么内部压缩型螺杆式可以一个好的选择。但普遍说来,对尾气处理越来越严格的要求使得将来对减少氮气的用量变得更重要。如果你希望用单一类型的泵不经过改变来处理各种不同的半导体工艺,而使得你的库存控制简单化,那么外部压缩型螺杆式将是你的选择。
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