真空机组供应商

真空机组真空系统

粗真空泵或低真空泵

粗、低真空泵是指从大气开始，降低被抽容器的压强后工作在低真空或粗真空压强范围内的真空泵。

高真空泵

高真空泵是指在高真空范围工作的真空泵。

超高真空泵

超高真空泵是指在超高真空范围工作的真空泵。

增压泵

增压泵通常指工作在低真空泵和高真空泵之间，用以提高抽气系统在中间压强范围的抽气量或降低前级泵抽气速率要求的真空泵。

真空机组真空系统

真空系统中的泄漏气体

泄漏气体包括大气通过真空密封的连接处以及各种漏隙通道泄漏进入真空系统内部的气体。对于确定的真空系统来说，泄漏的气体量是一个常数。不同的真空系统应用、不同的极限压力，对泄漏气体的量也有严格的限制。

真空系统中各种材料表面解吸释放出来的气体

常压下，真空系统中的材料表面会吸附、溶解部分气体。在负压状态下，这部分气体会被重新释放出来。它的放气流量与材料性能、处理工艺以及材料表面状态有关。