真空镀膜检漏

真空泵真空设备检漏维修

深圳锐诚真空技术有限公司座落于广东深圳，在北京、浙江设有售后办事处。是一家专门从事各种真空应用设备制造，集研发、生产和销售于一体的民营高科技企业。主营产品：真空设备，检漏仪，微水仪，lng抽真空系统，非标真空设备，真空标准件以及真空设备的维护保养。

真空自耗电弧炉是目前世界上熔炼钛、锆等稀有金属的主要设备，由于其在真空下能有效的降低金属及其合金中的气体含量，更准确的控制化学成分，改善铸锭的质量等优势，真空镀膜设备维修，因而被广泛应用。在实际生产中针对核级锆材来讲熔炼真空度及漏气率是电弧炉最重要的工艺参数，由于种种原因真空漏气率往往无法不能达到工艺参数的要求而影响生产进度和产品质量。因此，如何快速的发现漏点，是真空维修过程中的关键。

真空检漏的概念

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　　真空检漏就是检测真空系统的漏气部位及其大小的过程。漏气分为实漏和虚漏两种。实漏主要是由于气体通过系统上的漏孔或间隙从高压侧流向低压侧的过程，属于设备自身问题，也是本文研究与解决的重点问题；虚漏主要是由于材料放气、解吸、凝结气体的再蒸发等原因引起的气体压力升高的现象，主要通过长时间的抽空将发出的气体抽出系统外便可以正常使用和生产。

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真空泵

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测量方式

热偶真空计利用热电偶的电势与加热元件的温度有关，元件的温度又与气体的热传导有关的原理来测量真空度的真空计。

电离真空计由筒状收集极，栅网和位于栅网中心的灯丝构成，筒状收集极在栅网外面。热阴极发射电子电离气体分子，离子被收集极收集，根据收集的离子流大小来测量气体压强的真空计。

复合真空计由热偶真空计与热阴极电离真空计组成，测量范围从大气~10-5Pa。冷阴极电离计阳极筒的两端有一对阴极板，在外加磁场作用，阳极筒内形成潘宁放电产生离子，根据阴极板收集的离子流的大小来测定气体压强的真空计。

电阻真空计利用加热元件的电阻与温度有关，元件的温度又与气体传导有关的原理，真空镀膜，通过电桥电路来测量真空度的真空计。

麦克劳真空计也成为压缩式真空计，将待测的气体用或油缩到一极小体积，然后比较开管和闭管的液柱差，利用玻义尔定律直接算出气体压强的一种jue对真空计。

电容薄膜真空计这是一种阴极与收集极倒置的热阴极电离规。收集极是一根细丝，真空镀膜检漏，放在栅网中心，灯丝放在栅网外面，因而减少软X射线影响，延伸测量下限，可测超高真空。电容薄膜真空计将三种不同的规管综合在个小型经济的规管中，测量过程压强和基本压强从5x10-10至1500毫巴。电容薄膜真空计由于具有测量精度高、动态响应快、测量结果与气体成分无关以及抗腐蚀、耐气压冲击等一系列优点，因而越来越受到人们的重视。以它取代水yin压力计、油压计、电阻真空计、热偶真空计以至部分地取代电离计。

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