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真空泵操作注意事项

真空系统启动时，要先用机械泵将系统抽至低真空，再接通扩散泵冷凝水.然后逐渐加热使油沸腾并正常回流后再启动油扩散泵。关闭油扩散泵时.需先切断加热器电源，待油停止沸腾后再关冷凝水，里其乐真空泵供应商，再关闭扩散泵前后两个活塞，里其乐真空泵，接着将机械泵的抽气日通大气后才能停机械泵.通常在机械泵和油扩散泵之前安一冷阱，里其乐真空泵厂商，以免有机物、水汽等杂质进入机械泵，里其乐真空泵价格，影响泵的工作性能。冷阱的冷却荆可按需要选用干冰、液氮等。

对玻璃真空系统的检漏，使用高频火花真空检漏仪较方便。它是利用低压强气体在高频电场中，发生感应放电时所产生的不同颜色，来大致估计真空度量级，以判断系统是否漏气。实际检漏过程如下，启动机械泵数分钟后，系统的真空度可达1.333~13.33Pa。

真空泵在半导体制造业中的运用

在半导体制造业中有很多种不同的真空泵。我们把它们分成两类:初级泵和高l级真空泵。初级泵有几种用途:在腔内创造近似中级真空(压力小于10-3托);清空多腔集成设备中接收硅片的区域(如真空锁);为高l级真空泵抽气.高l级真空泵用来获得压力范围10-3托到10-9托的高l级和超高l级真空。新型晶片厂中使用的现代真空泵是干性的，意味着其内部没有任何可能回流到工艺腔中沾污硅片的油或润滑剂。

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