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干式真空泵可以分为几类?
现在,您可以看到干式真空泵有着如此多的不同设计,塘厦真空泵维修,它们各自有着自己的特性和优缺点。一直以来,使用成本是一个影响人们选择真空泵的重要因素。越来越多的真空泵用户意识到也应该将真空泵运行的稳定性考虑进去。因为真空泵的意外出错会引起机器的使用效率降低,影响到晶圆的生产和交货期,甚至造成所加工晶圆的报废和机器其它部件的损坏。
由于螺杆式设计为单级设计,同多级泵如圆裂片式,爪式以及组合式相比,其在零件的使用数量上减少了百分之六十。这使得其在稳定性和将来的维修成本上有很大的优势。
综合考虑,如果用户认为耗电量对他来说最为重要而氮气用量对他来说最不重要,vps干式螺杆真空泵维修,那么内部压缩型螺杆式可以一个好的选择。但普遍说来,对尾气处理越来越严格的要求使得将来对减少氮气的用量变得更重要。如果你希望用单一类型的泵不经过改变来处理各种不同的半导体工艺,德国莱宝真空泵维修,而使得你的库存控制简单化,那么外部压缩型螺杆式将是你的选择。
真空泵在工作时,会不断将空气排出泵体,以在吸气口形成工作需求的真空度,也就是说排气压力也是影响水环式真空泵运行效率的另一主要因素。排气压力会对真空泵吸气量和轴运转功耗带来巨大的影响。当真空泵系统在运行时,如果其排气压力越大时,真空泵的吸气量就会越小,相应轴运转功耗就会越大。相反,德国普旭真空泵维修,当系统排气压力越小时,真空泵的吸气量就会越大,相应轴运转功耗就会越小。因此,在实际运行维护过程中,应该实时观察真空泵系统的排气压力数据,当出现异常排气压力数据时,应该立即采取相应的措施对整个真空系统进行更新改造,使得真空系统排气压力长期维持在国家标准或厂家推荐范围值内,保证真空泵始终处于优工况条件下,有效提高水环式真空泵整体运行机械效率。
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