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净化工程公司在一定空间范围内,万级净化车间,将空气中的微粒子、有害空气、xi菌等污染物排除,净化车间设计,并将室内温度、洁净度、压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内的工程学科。净化工程所特别设计的房间,不论外在空气条件如何变化,室内均具有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能。这比用紊流来描述乱流洁净室更确切、更quan面。
这个级别的无尘车间主要用于制造集成电路的微电子工 业,对集成电路的确要求为亚微米
这个级别的无尘车间主要用于带宽小于2微米的半导体工业
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