好利旺真空泵维修

                                                             干式真空泵可以分为几类？

在外部压缩型螺杆式设计中，使用一对等距螺杆。这使得内部压缩减到小，同时使得气体通路最短也最简单。这样，气体在泵体内停留的时间也最短。虽然这种设计由于减少了内部的压缩比而使得其耗电量相对较高，但在很多复杂的半导体工艺中表现出极高的稳定性。这种单级设计使得其对氮气用量的要求也非常小而且简单，这样就使得其在不同工艺中有很好的互换性。在很多清洁的工艺中甚至可以不用氮气。

　　除了使用一对非等距螺杆以外，内部压缩型螺杆式设计和外部压缩型螺杆式设计的基本原理非常相似。螺杆间容积的不断减小使得其内部产生压缩。这种设计由于产生内部压缩而使得其耗电量降低到同多级泵相当的水平。但在很多工艺中，这种内部压缩同多级泵一样，极易造成气体在泵体内的物理化学变化而产生固化或液化。

解决罗茨泵过载问题的方法主要有以下几种：

一、采用机械式自动调压旁通阀旁通阀安装在罗茨泵的出口和入口之间的旁通管路上，如图 19 所示。此阀控制泵出入口之间的压差不超过额定值。当压差达到额定值时，2xz真空泵维修，阀门靠压差作用自动打开，使罗茨泵出口和入口相通，使出入口之间的压差迅速降低，这时罗茨泵在几乎无压差的负荷下工作。当压差低于额定值时，阀自动关闭，气体通过罗茨泵内由前级泵抽走。带有旁通溢流阀的罗茨泵可以与前级泵同时启动，使机组操作简单方便。

二、采用液力联轴器采用液力联轴器也能防止泵的过载现象发生，好利旺真空泵维修，使泵可以在高压差下工作。液力联轴器安装在泵和电动机之间。在正常工作状态下，液力联轴器由电动机端向泵传递额定力矩。罗茨泵的压差由液力联轴器所传递的转矩来决定，而液力联轴器可传递的转矩由其中的液体量来调节。当泵在高压差下工作或与前级泵同时启动时，在液体联轴器内部产生了转速差即滑动，e2m40真空泵维修，只传递一定的力矩，汕头真空泵维修，使泵减速工作。随着抽气的进行，气体负荷减小，罗茨泵逐渐加速至额定转速。

三、采用真空电气元件控制泵入口压力在罗茨泵的入口管路处安置真空膜盒继电器或电接点真空压力表等压力敏感元件。真空系统启动后，当罗茨泵入口处压力低于给定值 ( 泵允许启动压力 ) 时，压力敏感元件发出信号，经电气控制系统开启罗茨泵 ( 如真空系统中装有罗茨泵旁通管路，则同时关闭旁通管路阀门 ) 。若泵入口压力高于规定值时，则自动关闭罗茨泵 ( 或同时打开泵旁通管路阀门 ) ，从而保证了罗茨泵的可靠运转。

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