无尘车间净化设备

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对于半导体设备来讲，净化工程技术在微电子技术中起着十分重要的作用。微电子技术的核心是集成电路，日照车间净化，而集成电路的生产对其工艺环境和工艺流程中的净化技术和设备提出了严格的要求。我国“九五”期间大力发展以微电子为重点的信息产业。净化工程技术水平在某种意义上已成为衡量一个国家和地区科学技术水平和工业水平的一个重要标志。

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有效阻止室外的污染物侵入室内或室内污染物外渗。这是千级无尘车间控制污染的主要途径，无尘车间净化设备，主要涉及空气净化处理的方法、室内的压力控制等。

选择合理的气流流型，是体现无尘车间功能的关键，合理的气流组织能迅速有效地排除室内已经发生的污染。

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