厂商 :北京石久高研金属材料有限公司
北京 北京- 主营产品:

高纯金属靶材
北京石久高研金属材料有限公司成立于2005年, 石久高研致力于镀膜靶材和蒸发料的研发和生产工作,钛靶批发,为电子行业、玻璃工业、数据存储、装饰镀膜、工具镀膜等行业的镀膜企业提供高品质的靶材和蒸发料。公司主营金属靶材、金属材料、光学镀膜材料等。
业内人士指出,高纯金属及其合金溅射靶材是半导体集成电路及分立器材制造主要的PVD镀膜原资料,应用于金属化技术中互连线、阻挡层、触摸、通孔、背面金属化层等薄膜的制备。跟着国内电子信息产业商场规模的敏捷扩大,钛靶供应商,靶材消耗量逐年添加,中国逐渐变成世界上溅射靶材的很大需要区域之一。经过本次项目的建造,有研亿金高纯金属靶材研制出产的才能和技能水平将得到大幅度提高,一起具有自主知识产权的高纯金属靶材将得到进一步的开展和推广。与此一起,钛靶批发价格,完成高质量靶材的产业化,将会给有研新材带来非常显着的商场效益。
石久高研专注15年提供高纯金属靶材 高品质、高纯靶材欢迎来电咨询~~~





金属靶材
北京石久高研金属材料有限公司成立于2005年, 石久高研致力于镀膜靶材和蒸发料的研发和生产工作,为电子行业、玻璃工业、数据存储、装饰镀膜、工具镀膜等行业的镀膜企业提供高品质的靶材和蒸发料。公司主营金属靶材、金属材料、光学镀膜材料等。
溅射靶材使用指南及注意事项
靶材清洁
靶材清洁的目的是去除靶材表面可能存在的灰尘或污垢。
金属靶材可以通过四步清洁,钛靶,
第1步用在酒精中浸泡过的无绒软布清洁;
第2步与第1步类似用酒精清洁;
第3步用去离子水清洗。在用去离子水清洗过后再将靶材放置在烘箱中以100摄氏度烘干30分钟。 氧化物及陶瓷靶材的清洗建洁用“无绒布”进行清洁。
第4步在清除完有污垢的区域后,再用高压低水气的氩气冲洗靶材, 以除去所有可能在溅射系统中会造成起弧的杂质微粒.
靶材安装
靶材安装过程中最重要的注意事项是一定要确保在靶材和溅射枪冷却壁之间建立很好的导热连接。如果用冷却壁的翘曲程度严重或背板翘曲严重会造成靶材安装时发生开裂或弯曲,背靶到靶材的导热性能就会受到很大的影响,导致在溅射过程中热量无法散发最终会造成靶材开裂或脱靶 为确保足够的导热性,可以在阴极冷却壁与靶材之间加垫一层石墨纸。请注意一定要仔细检查和明确所使用溅射枪冷却壁的平整度,同时确保O型密封圈始终在位置上。
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溅射靶材
北京石久高研金属材料有限公司成立于2005年, 石久高研致力于镀膜靶材和蒸发料的研发和生产工作,为电子行业、玻璃工业、数据存储、装饰镀膜、工具镀膜等行业的镀膜企业提供高品质的靶材和蒸发料。公司主营金属靶材、金属材料、光学镀膜材料等。
靶中毒的解决办法
1、采用中频电源或射频电源。
2、采用闭环控制反应气体的通入量。
3、采用孪生靶
4、控制镀膜模式的变换:在镀膜前,采集靶中毒的迟滞效应曲线,使进气流量控制在产生靶中毒的前沿,确保工艺过程始终处于沉积速率陡降前的模式。

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