XD-真空泵机组及系统安装

清洗工艺流程:超声波清洗─→喷淋冲洗─→蒸汽浴洗─→冷冻干燥，尤其适用于大型容器的液体中加入超声波清洗的场合。

真空压合机专用真空泵，选用全进口普旭真空泵，节能环保，质量稳定，低温，噪音小。真空泵系统式设计可单抽一、二抽一或三抽一，减少抽真空时间，增进产品品质，而气液分离桶则有效滤除从真空舱抽出来之空气水份，增长真空泵浦寿命，增加产能。

　目前，我们已测试了国产铁氧体材料（用于踢轨磁铁）和镁膜（用于镁探针）的表面出气率，XD-真空泵，分别为10-10pal/scm2和10-9pal/scm2，结论是可以用于超高真空系统，XD-真空泵路漏油，但在配泵等方面需要有所考虑。在材料出气率很低的情况下（≤10-10pal/scm2）用这种方法测出的数据受规管本身读数误差及测试系统重复性误差影响较大。我们参照日本真空株式会社研制的两路径之间阀门切换法对现有装置进行改进，可以消除规管的影响。并用专门的样品室放置样品，更换样品时用阀门将样品室与测试罩隔开，XD-真空泵生产厂家，可以保持测试罩的真空状态，XD-真空泵机组及系统安装，以减小测试系统重复性误差。改造后的测试系统将使出气率测试下限降低1-2个数量级。

　　规管校准装置csr真空系统上要用大量的真空测量规管，我们有必要在实验室建立二级规管校准装置对所用规管进行校准。校准室直径5400mm，上下封头为圆弧面使气体流动更均匀。7个540的测量口在同一水平面上均匀分布，由cf35法兰与各规管相连。采用经国防科工委计量一级站校准的ie514（真空计im520）作为标准规，其它规管读数与标准规进行比对，给出校准曲线。

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