氦质谱检漏设备

真空箱式氦检漏系统

概述

本设备适用对充气环网柜（以下简称工件）进行真空法检漏。同步对工件和真空箱抽真空，使工件内外压差不大于0.04Mpa，对被检工件充注氦气，应用真空箱法进行氦质谱气密性检测，通过该装置判断出被检工件中的合格与不合格。然后将被检工件内的氦气回收循环使用，最后向工件内充入规定压力的SF6和氮气工作气体。

回收装置的基本工作原理是采用冷冻液化法。在回收时，利用压缩机的抽吸性和压缩性把SF6电器设备内一定压力的SF6气体吸入压缩机，并压缩至某一较高的压力。同时利用R22制冷剂的低蒸发温度特性，将较高温度的SF6气体冷却至冷凝温度进行液化、贮存。这样连续抽吸至SF6压缩机串联运行，直至达到回收终压力。

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充气柜检漏设备系统工作原理详解

检中漏、检微漏

若没有发现大漏，当真空箱和工件的真空值都达到要求（可以现场设定如真空箱20Pa，工件1000Pa绝压）时，对工件内充入低压氦气（如0.01Mpa），进行检中漏，如无中漏，对工件内充入设定压力的氦气，模拟工件工作环境进行检微漏。如果工件不合格系统将报警，氦质谱检漏设备多少钱，反之系统给出提示。对于不合格产品，氦质谱检漏设备生产，系统发出报警信号，然后对真空箱充入大气，同时向工件内充入氦气至压力为140000pa（绝压）(此过程也需保持工件内外压差不大于0.04Mpa)，然后中止检测程序，氦质谱检漏设备公司，将工件从真空箱内移出，切换到吸枪检漏模式，对疑惑点如接头、焊缝等进行检测，以确定漏点。如果没有小漏，系统自动进入下一步程序。

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SF6气体回收装置

回收装置的基本工作原理是采用冷冻液化法。在回收时，利用压缩机的抽吸性和压缩性把SF6电器设备内一定压力的SF6气体吸入压缩机，并压缩至某一较高的压力。同时利用R22制冷剂的低蒸发温度特性，将较高温度的SF6气体冷却至冷凝温度进行液化、贮存。这样连续抽吸至SF6压缩机串联运行，直至达到回收终压力。

在充放时，首先利用本装置的真空泵对SF6电器设备（或钢瓶）和连接管路进行抽真空，氦质谱检漏设备，然后直接利用压差或利用压缩机的抽吸性并造成一定的压差将装置贮存容器内的SF6充入SF6电器设备，直至达到所需的工作压力。在需灌瓶时则同时利用如前所述的R22制冷剂的特性，将液化的SF6直接灌入钢瓶。

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