三门连续真空镀膜机

肇庆市杰瑞设备有限公司专业制造

真空镀膜设备存在问题及解决方法：

长期工作的镀膜机抽真空的时间很长且达不到工作真空、恢复真空、极限真空、保真空：

1、蒸发室有很多粉尘（应清冼）

2、扩散泵很久未换油（应清冼换油）

3、前级泵反压强太大，机械泵真空度太低（应清冼换油）

4、各动密封胶圈损坏、由于蒸发室长期温度过高使其各密封胶圈老化、蒸发室各引入水路密封处是否有胶圈损坏（更换胶圈）

5、各引入座螺钉、螺母有无松动现象（重新压紧）

6、高低预阀是否密封可靠（注油）

 

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真空镀膜设备中主部件的使用、原理简介、存在问题、及解决方法：

工作原理：在放电开始时，由于空间游离电子向阳极运动时，在正交电磁场作用下，电子的轨迹不是直线而是螺旋线前进，又因为阳极是框形，故电子不一定第－一次就碰上阳极，而是穿过阳极，三门连续真空镀膜机，然后受到对面阴极的拒斥，又复返回。这样反复多次才可能打上阳极。由于电子路程大大加长，真空镀膜机维修，故碰撞及电离的分子数增加，镀金法真空镀膜机，使得在较低压强（10-4帕以下）仍维持放电（也称潘宁放电）。目前比较多的型号有PKR251、GI-PARY 放电管真空计：在玻璃管中封入两个金属电极，在其上加上数千伏的直流高电压，在一定的压强范围内（1*10-3～2*10托）内就能引起自持放电，真空镀膜机，通过放电颜色来判定其真空度 目前为止此种真空计已经很少使用，因为其误差大，容易损坏，而且寿命不长

 

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