磁控溅射

真空泵的作用就是从真空室中抽除气体分子，降低真空室内的气体压力，使之达到要求的真空度。

因此，为达到不同产品的工艺指标、工作效率和设备工作寿命要求、不同的真空区段需要选择不同的真空系统配置。

真空(VD)系统是炉外精炼设备的关键设备之一，磁控溅射制造，其主要功能是生产优质产品和高附加值产品，磁控溅射，满足市场需求，提高企业的经济效益，真空泵是真空系统的核心部件。

与射水抽气器比较，离心真空泵有耗功低、耗水量少的优点，并且噪声也小。离心真空泵的缺点是：过载能力很差，磁控溅射价格，当抽吸空气量太大时，真空泵的工作恶化，真空破坏。这对真空严密性较差的大机组来说是一个威胁。故可考虑采用离心真空泵与射水抽气器共用的办法，当机组起动时用射水抽气器，正常运行时用真空泵来维持凝汽器的真空。

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