轮槽式陶瓷承载盘厂家

　　陶瓷挡圈的用途：

　　轴上零件的固定分为轴向固定和周向固定。

　　轴向固定的方法有：轴肩或轴环固定、用轴端挡圈或圆锥面固定、用轴套固定、用圆螺母固定、用弹性挡圈固定。

　　挡圈主要是起到轴向固定的作用，其中圆锥面加挡圈固定有较高的定心度。

　　滚动轴承的挡圈就相当于一个活动的挡边，是用来档滚子用的，方便安装。挡圈的结构有平挡圈、斜挡圈和中挡圈。

　　已知的承载盘存在组装麻烦不便、成本闻及不良率闻等问题，轮槽式陶瓷承载盘厂家，尤其是其在使用时更是存在着盘座与盘盖之间易堆积加工杂质而影响加工精密度的问题，本实用新型提供一种具有较高加工精密度，而且可使组装较简单方便及降低制作成本功效的陶瓷承载盘。本公司提供的陶瓷承载盘，为高纯度的绝缘材质陶瓷一体制成，其包括一穿孔、一结合面及一承载面。其中，该穿孔位于中央且由顶面贯穿到底面以使整体呈环状，该穿孔可供容纳一机台的静电吸盘。该结合面位于底面，可供用于结合于该机台上。该承载面位于顶面，且靠近该穿孔边缘处等间隔设有多数承载凸块。每一承载凸块具有一支撑面及两侧面，该支撑面位于顶面且呈由外向内逐渐向下倾斜的斜面状，以供用于支撑承载晶圆的周边下缘，该两侧面位于两相对侧且呈由外向内逐渐相对倾斜接近的斜面状，该两侧面的上侧边与该支撑面的两相对侧边相接。

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