内孔抛光

设备介绍 ：

纳米光整消除残余应力设备利用大功率的振动能量推动冲击头以每秒约3万次或者4万次的频率冲击金属工件表面，高频、高效和聚焦的振动能量使金属表层产生较大的压缩塑性变形；金属表面温度迅速升高又迅速冷却，表层金属组织发生变化，冲击部位得以强化。同时纳米光整消除残余应力改变了原有的应力场，产生有益的压应力。

纳米加工与设备新技术研究

开展32-22纳米技术代新原理装备研究，抛光，为我国下一代微电子技术研发新原理设备，为产业提供自主知识产权，为我国IC产业升级换代提供技术积累。利用科研院所的研究优势，外圆抛光，与企业联合开发主流IC设备，替代进口，打破国外垄断。实验室装备产业化，不锈钢抛光，发展目标是研发各类实验室用微电子设备，小批量生产提供我国科研院所，提高我国科研单位的创新能力。

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