厂商 :北京石久高研金属材料有限公司
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商品详细描述
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金属靶材
北京石久高研金属材料有限公司成立于2005年,钛铝靶厂家, 石久高研致力于镀膜靶材和蒸发料的研发和生产工作,为电子行业、玻璃工业、数据存储、装饰镀膜、工具镀膜等行业的镀膜企业提供高品质的靶材和蒸发料。公司主营金属靶材、金属材料、光学镀膜材料等。
溅射靶材使用指南及注意事项
靶材保养
为避免在溅射过程中因为不洁净的腔体导致短路和起弧,有必要阶段性的除去溅射轨道中间及两侧堆积的溅射物,这也有助于用户可以连续以大功率密度进行溅射。
石久高研专注15年提供高纯金属靶材 高品质、高纯靶材欢迎来电咨询~~~
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溅射靶材
北京石久高研金属材料有限公司成立于2005年, 石久高研致力于镀膜靶材和蒸发料的研发和生产工作,为电子行业、玻璃工业、数据存储、装饰镀膜、工具镀膜等行业的镀膜企业提供高品质的靶材和蒸发料。公司主营金属靶材、金属材料、光学镀膜材料等。
靶中毒的物理解释
一般情况下,钛铝靶,金属化合物的二次电子发射系数比金属的高,靶中毒后,靶材表面都是金属化合物,钛铝靶,在受到离子轰击之后,释放的二次电子数量增加,提高了空间的导通能力,降低了等离子体阻抗,导致溅射电压降低。从而降低了溅射速率。一般情况下磁控溅射的溅射电压在400v-600v之间,当发生靶中毒时,溅射电压会显著降低。
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