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真空镀膜设备中泵的使用、原理简介、存在问题、及解决方法:
由进气口进入泵内的气体分子,真空镀膜机配件维修,一旦落入蒸汽流中,便获得向下运动的动量,向下飞去,镀膜机厂家,由于射流具有高的流速(约200米/秒),高的蒸汽密度,且扩散泵油具有高的分子量(300-500)故能有效的带走气体分子,因此在射流的界面内,气体分子不可能长期滞留,且在射流界面的两边,被抽气体有很大的浓度差,正是因为这个浓度差被抽气体能不断的越过界面,扩散进入射流中,被带往出口处,在出口处再由机械泵抽走。 扩散泵的油蒸汽压是决定泵的极限真空的重要因素,塑料镀色真空镀膜机,因此尽量选用饱和蒸汽压低的泵油,其化学特性要好。 扩散泵不能单独用来抽气,一般要求泵的大出口压强为40帕。扩散泵的抽速决定于一级喷嘴与泵体进气口口径间环形面积的大小,抽速不是一恒定的值,而是随着进气口的压强而变化的,当压强在10-2~10-3帕的时候,扩散泵的抽气速度是最快的,当压强小于5*10-4帕之后,扩散泵的抽气速度小,几乎没有抽气能力(此时,进气口的压强较高,由于空气的密度较大,杭州市镀膜机,使蒸汽流形成不了高速射流以阻挡空气的反扩散,所以抽速下降)
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需要镀膜的被称为基片,镀的材料被称为靶材。 基片与靶材同在真空腔中。
蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。并且沉降在基片表面,通过成膜过程(散点-岛状结构-迷走结构-层状生长)形成薄膜。 对于溅射类镀膜,可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材,并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来,并且最终沉积在基片表面,经历成膜过程,最终形成薄膜。
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